研磨口ボット用光学的表面粗さセンサの研究（第2報）--実験結果

著录项

• 来源
  《精密工学会誌》 |2001年第8期|1254-1258|共5页
• 作者

  原田博之; 樋口 朗; 山口晃生;

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• 作者单位

  熊本大学工学部;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 日语
• 中图分类 机械制造工艺;
• 关键词

  surface roughness; in-process measurement; optical measurement; automatic polishing;