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静圧テーブルの運動誤差解析と高精度化（第2報）--伝達関数を利用した解析法と修正研磨法の実験的検証

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本研究では，片面支持型および両面支持型の油静圧案内を持つテーブルを試作し，前報で提案した運動誤差解析モデル，およびその逆解析を利用した案内面の修正研磨法の妥当性を実験的に検証した。 本研究で得られた主な知見は下記の通りである。 （1）複数の静圧パッドを持つ軸受全体に対して運動誤差伝達関数を求め，各パッド間での油膜反力の打ち消し合いを含めた総合的な油膜の平均化効果を定量的に明らかにした。（2）片面および両面支持型の静圧案内に対する実験の結果，本解析モデルによって静圧テーブルの運動誤差を精度良く推定し得ることがわかった。 （3）片面および両面支持型の静圧案内に対して提案する修正研磨法を適用した結果，案内面の形状を測定することなく，測定した運動誤差に逆解析法を適用して修正研磨を行うことにより，テーブルの運動精度を大幅に向上し得ることを確認した。 （4）本修正研磨法により，熟練技術を持たない作業者でも，ストローーク145mmの片面および両面支持型静圧案内に対してそれぞれ0.13μm，1.40 arcsecおよび0.07μm，1.42 arcsec の運動精度を達成し得ることを示した。 最後に，本研究は日本学術振興会論文博士号取得希望者に対する支援事業の一部として行われたものであることを付記する。

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