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放射光による物質·材料科学研究

机译：辐射材料与材料科学研究

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NIMSは世界最大でかつ最高性能を誇る大型放射光施設SPring8専用ビームラインBL15XUを持っています。 このビームラインは軟X線から20keVの硬X線までの広い領域をカバーする、他に比類のない特長を有しています。 この特長を生かす高分解能の高エネルギー光電子分光法をNIMS専用ビームラインBL15XUに導入し、物質科学のための研究を強力に進める体制を整えています。 かつてシリコン-LSIはSi基板、多結晶Si、SiO_2、AL、など極めて少種類の材料で成り立っていました。 今日ではゲート絶縁膜にはSiONHfO_2などの高誘電率材料、ゲート電極には金属シリサイド、WやMoなどの遷移金属、また配線にはCuが用いられ、Cuの拡散障壁のためにはTaNなどの窒化物、さらに多層配線の層間絶縁膜には低誘電率膜などの多彩な材料が使われるようになりました。 これらに代表されるように、今日のデバイス開発には多種多様なナノ機能薄膜が必要とされます。
机译：NIMS具有用于SPring8的BL15XU专用光束线，SPring8是世界上最大，性能最高的大型辐射设施。该光束线具有独特的功能，涵盖从20 keV的软X射线到硬X射线的广泛范围。我们已将利用此功能的高分辨率，高能光电子能谱引入NIMS专用光束线BL15XU中，并建立了一个可大力推进材料科学研究的系统。过去，硅LSI由极小类型的材料组成，例如Si衬底，多晶硅，SiO_2和AL。如今，诸如SiONHfO_2的高介电常数材料被用作栅绝缘膜，栅电极使用的金属硅化物，诸如W和Mo的过渡金属，以及用作布线的Cu，以及用作Cu扩散阻挡层的TaN。诸如低介电常数膜之类的各种材料已被用于氮化物和用于多层布线的层间绝缘膜。以此为代表，当今的器件开发需要各种各样的纳米功能薄膜。

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