Demonstration of a Packaged Capacitive Pressure Sensor System Suitable for Jet Turbofan Engine Health Monitoring.

著录项

• 作者

  Scardelletti, M. C.; Jordan, J. L.; Meredith, R. D.; Harsh, K.; Pilant, E.; Usrey, M. W.; Beheim, G. M.; Hunter, G. W.; Zorman, C. A.;

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• 作者单位

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• 年度 2016
• 页码 1-12
• 总页数 12
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  Pressure sensors; Oscillators; Turbofan engines; Capacitance; Jet engines; Systems health monitoring; Resonant frequencies; Detection; Silicon nitrides; Pressure; Vibration; Frequency response; Endoscopes; Aluminum oxides;

  机译：压力传感器;振荡器;涡轮风扇发动机;电容;喷气发动机;系统健康监测;谐振频率;检测;氮化硅;压力;振动;频率响应;内窥镜;氧化铝;