机译:使用电感耦合等离子体对半导体蚀刻设备中AR等离子体参数的RF阻抗的相关性
机译:电感耦合Ar / N-2等离子体中N-2的振动温度与等离子体参数之间的相关性
机译:在O_2 / N_2 / Ar和H_2 / N_2 / Ar感应耦合等离子体中蚀刻的化学气相沉积非晶碳的线边缘粗糙度和轮廓角的比较
机译:利用电感耦合的Cl_2 / HBr和Cl_2 / Ar等离子体对Gan的蚀刻特性
机译:感应耦合等离子体蚀刻反应器中传输线效应和离子等离子体形成的表征。
机译:电感耦合等离子体光发射光谱法和石墨炉原子吸收光谱法的性能参数用于汽车催化剂中的PD和PT测定
机译:电感耦合AR / CL2等离子体蚀刻中具有GaN蚀刻速率的光发射和离子磁通的相关性
机译:在Cl(2)/ Xe,Cl(2)/ ar和Cl(2)/ He中的III-氮化物的电感耦合等离子体蚀刻;材料研究学会Internet Journal of Nitride semiconductor Research