机译:使用基于Au / n-ZnO /压电-ZnO / Al结构的薄膜压电谐振器进行UV感测
机译:使用基于Au / n-ZnO /压电-ZnO / Al结构的薄膜压电谐振器进行UV感测
机译:基于Au / ZnO / Al结构的电可调膜体声波谐振器
机译:使用双模薄膜散装声谐振器(FBAR)与AU / Cr层组合的液体传感器研究
机译:基于MEMS的系统,用于使用薄膜体声波谐振器和IR / UV光学判别进行粒子暴露评估。
机译:使用基于Au / n-ZnO /压电-ZnO / Al结构的薄膜体声谐振器进行UV感测
机译:用于质量传感应用的ZnO基薄膜体声谐振器的材料和器件特性
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)