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Waveguide Plasmon Resonance of Arrayed Metallic Nanostructures Patterned on a Soft Substrate by Direct Contact Printing Lithography

机译：通过直接接触印刷光刻在软基板上图案化的阵列金属纳米结构的波导等离子体谐振

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This paper presents a direct contact printing method to obtain arrayed metallic nanostructures on a soft polymer substrate. It utilizes a polydimethylsiloxane (PDMS) mold replicated from silicon molds to transfer metallic nanopatterns onto a polymer substrate based on differences in interfacial bonding energy. Arrayed metallic nanodisks with a disk diameter down to 180 nm and a center-to-center pitch around 400 nm are experimentally patterned on a PET substrate. The patterned metallic nanostructures are then spin-coated with a polymer layer; which mechanically secures the patterned nanostructures and optically allows waveguide plasmon resonance being excited by incident EM waves. Both experimental works and theoretical modeling are given to illustrate the behaviors of different types of plasmon resonance. These arrayed metallic nanostructures patterned on a soft polymer substrate and their tunable optical characteristics open up many possibilities in future engineering applications.
机译：本文提出了一种直接接触印刷方法，得到软质聚合物基材上的排列金属纳米结构。它利用从硅模具复制的聚二甲基硅氧烷（PDMS）模具，以基于界面粘合能量的差异将金属纳米图转移到聚合物基材上。通过低至180nm的圆盘直径和围绕400nm的中心间距的阵列金属纳米机在PET基板上进行实验图案。然后用聚合物层旋涂图案化金属纳米结构;机械地固定图案化的纳米结构并光学允许通过入射的EM波激发波导等离子体共振。还给出了实验性工作和理论建模，以说明不同类型的等离子体共振的行为。这些阵列金属纳米结构在软聚合物基板上图案化及其可调光学特性在未来的工程应用中开辟了许多可能性。

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