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Coupling efficiency of monolithic, waveguide-integrated Si photodetectors

机译：单片，波导集成Si光电探测器的耦合效率

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A waveguide-integrated photodetector provides a small-footprint, low-capacitance design that overcomes the bandwidth-efficiency trade-off problem of free space optics. High performance silicon devices are critical to the emergence of electronic-photonic integrated circuits on the complementary metal oxide semiconductor platform. We have fabricated vertical p-i-n silicon photodetectors that are monolithically integrated with compact silicon oxynitride channel waveguides. We report over 90% coupling efficiency of 830 nm light from the silicon oxynitride (SiOxNy) channel waveguide to the silicon photodetector. We analyze the dependence of coupling on waveguide index by comparing coupling from low index-contrast waveguides and high index-contrast waveguides.
机译：波导集成的光电探测器提供小型占地面积，低电容设计，克服了自由空间光学器件的带宽效率折衷问题。高性能硅装置对互补金属氧化物半导体平台上的电子光子集成电路的出现至关重要。我们已经制造了垂直的P-I-N硅光电探测器，其与紧凑型氧氮化硅通道波导单片集成。我们向硅光电探测器的氧氮化硅（SiOxny）通道波导报告830nm光的超过90％的耦合效率。我们通过比较低指数对比波导和高指标对比波导的耦合来分析耦合对波导指数的依赖性。

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