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机译:用于光子开关的紧凑型光学MEMS器件和稳定的光交叉连接开关,用于最近的光子网络中的简单,快速和灵活的波长应用
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机译:准光学MEMS开关阵列技术。
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机译:微机械技术(MEMS)光束开关
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