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机译:基于平面度的静电驱动MEMS控制及其在自适应光学中的应用:仿真研究
Zhu Guchuan; Lévine Jean; Praly Laurent; Peter Yves-Alain;
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机译:静电梳状执行器,使用静电梳状执行器的可变形镜,使用可变形镜的自适应光学系统以及使用自适应光学系统扫描激光眼科手术
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