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クラスターイオンビーム技術 : 蒸気化固体物質によるクラスタービームの生成と、その薄膜形成への応用

机译:团簇离子束技术:汽化固体材料产生的团簇束及其在薄膜形成中的应用

摘要

Kyoto University (京都大学)
机译:京都大学

著录项

  • 作者

    Usui Hiroaki;

  • 作者单位
  • 年度 1988
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类

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