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【2h】

Entwicklung einer kontaktfreien nichtdestruktiven Methode zur Messung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen mit akustischen Oberflächenwellen

机译:一种非接触,非破坏性方法,用于利用声表面波测量微机械多层系统的机械和弹性性能

著录项

  • 作者

    Bennis Abdelali;

  • 作者单位
  • 年度 2009
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  • 正文语种
  • 中图分类

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