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以摩擦力顯微術研究硬膜材料奈米磨潤特性

机译：以摩擦力显微术研究硬膜材料奈米磨润特性

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摘要

[[abstract]]目前硬膜材料的厚度已小於100 奈米，因此奈米尺度的磨潤特性在近年來受到極大重視。為了分析硬膜的均勻性及磨潤特性，具有奈米解析度的定量摩擦力測量技術便極為所需，而具有摩擦力測量功能的原子力顯微術，或稱為摩擦力顯微術，便符合此項需求。本文介紹定量摩擦力測量技術，並測量矽探針與氮化鈦及類鑽碳兩種硬膜的摩擦係數。此外也以探針在樣品表面上來回掃描數十至上百次，造成表面磨耗，然後比較表面形貌改變，藉此了解硬膜的奈米磨潤特性。
机译：[[abstract]]目前硬膜材料的厚度已小于100 奈米，因此奈米尺度的磨润特性在近年来受到极大重视。为了分析硬膜的均匀性及磨润特性，具有奈米解析度的定量摩擦力测量技术便极为所需，而具有摩擦力测量功能的原子力显微术，或称为摩擦力显微术，便符合此项需求。本文介绍定量摩擦力测量技术，并测量矽探针与氮化钛及类钻碳两种硬膜的摩擦系数。此外也以探针在样品表面上来回扫描数十至上百次，造成表面磨耗，然后比较表面形貌改变，借此了解硬膜的奈米磨润特性。

著录项

  • 作者

    林 欣瑜;

  • 作者单位
  • 年度 2011
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  • 正文语种 [[iso]]zh
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