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压电MEMS解耦结构及MEMS陀螺仪

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本发明公开了一种压电MEMS解耦结构及MEMS陀螺仪，该压电MEMS解耦结构，包括：一T型梁结构，包括一体化的横梁和纵梁，该T型梁结构自下而上依次包括：衬底、下电极层和压电材料层；第二上电极，作为检测电极，呈T型，位于T型梁结构之上，关于纵梁中心线对称；以及第一上电极和第三上电极，作为驱动电极，位于纵梁之上，对称分布于纵梁中心线两侧，与第二上电极位于纵梁上的部分相互独立。该解耦结构通过将其整体形状设置为一包含一体化横梁和纵梁的T型梁结构，并在该T型梁结构上设置关于纵梁中心线对称的T型检测电极和在纵梁上对称分布的两个驱动电极，实现了完全解耦，可有效提高陀螺仪的检测精度。

著录项

公开/公告号CN109682364A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-26

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院半导体研究所;中国科学院大学;
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申请/专利号CN201811529259.X
发明设计人杨健;韩国威;司朝伟;王晓东;宁瑾;颜伟;刘雯;杨富华;
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申请日2018-12-13
分类号G01C19/56(20120101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2024-02-19 09:00:07

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-05-21

实质审查的生效 IPC(主分类):G01C19/56 申请日:20181213

实质审查的生效
2019-04-26

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