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结构体、其制造方法和塔尔博干涉仪

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摘要

本发明提供结构体、其制造方法和塔尔博干涉仪。结构体，其包括：具有多个凹部的硅基板，每个凹部具有底部和侧壁；硅化物层，每个硅化物层与凹部的底部接触；和包括金属部的金属结构体，每个金属部设置在凹部中并且与硅化物层接触。通过硅基板将硅化物层彼此电连接。

1. 结构体、其制造方法和塔尔博干涉仪 [P] . 中国专利： CN105280263B . 2019-03-26
2. 结构体、其制造方法和塔尔博干涉仪 [P] . 中国专利： CN105280263A . 2016-01-27
3. Talbot interferometer, a method of adjusting Talbot interferometer, and exposure apparatus [P] . 日本专利： JP5424697B2 . 2014-02-26

机译：塔尔博特干涉仪，调整塔尔博特干涉仪的方法以及曝光装置
4. Method for manufacturing phase diffraction grating for X-ray Talbot interferometer [P] . 日本专利： JP5656726B2 . 2015-01-21

机译： X射线塔尔博特干涉仪的相位衍射光栅的制造方法
5. Talbot interferometer, its adjustment method, and measurement method [P] . 美国专利： US8520217B2 . 2013-08-27

机译：塔尔博特干涉仪，其调整方法和测量方法