公开/公告号CN110643972A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-03
原文格式PDF
申请/专利权人 哈尔滨工业大学;
申请/专利号CN201910932384.3
申请日2019-09-29
分类号C23C16/27(20060101);C23C16/517(20060101);C23C14/35(20060101);C23C14/18(20060101);C23C14/58(20060101);G01N21/65(20060101);G01N27/30(20060101);G01N27/327(20060101);
代理机构23109 哈尔滨市松花江专利商标事务所;
代理人岳泉清
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
入库时间 2023-12-17 05:56:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-04
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/27 申请日:20190929
实质审查的生效
2020-01-03
公开
公开
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