标准作业时间计算装置及标准作业时间计算方法

具体实施方式

以下参照附图说明本发明的实施方式。本发明的一个实施方式的标准作业时间计算装置1是计算机，如图1所示，安装有多个计算机程序。即，标准作业时间计算装置1具有未图示的CPU、存储装置、输入装置及输出装置。该CPU执行安装在标准作业时间计算装置1中的计算机程序，控制其存储装置、输入装置及输出装置。该存储装置存储该计算机程序，暂时存储由该CPU生成的信息。该输入装置由用户操作，生成信息，将该信息输入到该CPU。作为该输入装置，例如有移动存储器驱动器、键盘。该移动存储器驱动器读取存储在移动存储器中的信息，将该信息输出到该CPU。该键盘由用户操作，生成文字列，将该文字列输出到该CPU。该输出装置将由CPU生成的信息以可由用户识别的方式向输出。作为该输出装置，例如有移动存储器驱动器、显示器。该移动存储器驱动器将由该CPU生成的信息记录在移动存储器。该显示器具有显示面，将由该CPU生成的画面显示在该显示面上。

标准作业时间计算装置1中安装有作为计算机程序的事件数据库2、数据存储部3、事件信息收集部4、作业片数收集部5及标准作业时间计算部6。事件数据库2通过其他计算机程序以可以进行信息处理的方式将事件种类信息表存储在存储装置中。数据存储部3从输入装置收集实际成绩数据。事件信息收集部4从输入装置收集事件信息。作业片数收集部5从输入装置收集作业片数。标准作业时间计算部6参照由事件数据库2存储的事件种类信息表，根据由数据存储部3收集的实际成绩数据、由事件信息收集部4收集的事件信息以及由作业片数收集部5收集的作业片数，计算标准作业时间。

图2表示由数据存储部3收集的实际成绩数据。该实际成绩数据11相对于一个作业生成一个。实际成绩数据11分别表示作业12、装置类型13、实施日期时间14、作业片数15、作业时间16。

作业12识别处理半导体基板的作业。作为该作业，例如有半导体光刻工序、化学气相沉积(chemical vapor deposition)工序、不纯物扩散处理工序。装置类型13表示由作业12识别的作业的形式，表示片页式作业或批量式作业中的一个。装置类型13识别实施由作业12识别的作业的装置，表示该装置所属的装置组的名称、表示该装置的号机的号码以及该装置设定的处理条件。实施时间日期14表示由作业12识别的作业实施的日期时间。作业片数15表示在由作业12识别的作业中处理的基板的片数。作业时间16表示由作业12识别的作业所需要的时间，特别是表示由作业12识别的作业为批量式作业时的停机时间和处理时间。该停机时间表示该作业所需的作业时间中实施该作业的装置不运转的时间。该处理时间表示该作业时间中实施该作业的装置运转的时间。

此时，数据存储部3将由用户输入到标准作业时间计算装置1的实际成绩数据记录并存储在存储装置中。

图3表示由事件数据库2以可进行信息处理的方式记录的事件种类信息表。该事件种类信息表21将事件识别信息22与数据区分条件23及固定要素24建立对应。即，事件识别信息22中的任意要素与数据区分条件23中的一个要素对应，与固定要素24中的一个要素对应。事件识别信息22识别对处理基板的作业所需要的作业时间产生影响的事件，表示该事件的名称、该事件发生的装置、以及该事件产生时装置设定的处理条件。作为该事件，例如有装置故障、处理装置的处理能力改善。数据区分条件23表示判断由数据存储部3收集的实际成绩数据是否受到由事件识别信息22识别的事件影响的条件。该条件表示该事件对作业时间产生影响的期间或该事件对作业时间产生影响时该作业时间(或停机时间、处理时间)所能取得的值的范围。该范围的上限和下限是独立于该作业所处理的基板的片数的常数或者是该片数的函数。固定要素24表示由数据存储部3收集的实际成绩数据中存在满足由数据区分条件23所示的条件的实际成绩数据时计算标准作业时间的算法，表示截矩或倾斜度中的一个。

由事件信息收集部4收集的事件信息仅表示事件识别信息，或者表示事件识别信息、数据区分条件、固定要素。此时，标准作业时间计算部6参照事件种类信息表21，从数据区分条件23中计算出由事件信息收集部4收集的事件识别信息所对应的数据区分条件。实际成绩数据11分为事件前实际成绩数据和事件后实际成绩数据。该事件前实际成绩数据由实际成绩数据11中不满足该计算出的数据区分条件的实际成绩数据形成。该事件后实际成绩数据由实际成绩数据11中满足该计算出的数据区分条件的实际成绩数据形成。

标准作业时间计算部6在实际成绩数据11的装置类型13表示片页式作业时，将事件前实际成绩数据分级为多个级别，生成按照该多个级别的每一个级别的多个资料。该多个级别分别表示与作业片数相关的区间。例如，作为分级，例如有将处理批的片数以1-5片、6-10片、11-15片、16-20片、21-25片这样地进行分级。该资料与实际成绩数据11同样地，分别表示作业12、装置类型13、实施日期时间14、作业片数15及作业时间16。该多个级别中属于一个级别的多个资料由事件前实际成绩数据中的作业片数15包含在该一个级别的实际成绩数据形成。另外，表示该级别的区间的长度也可以相互不同。并且，级别的分级方法并不固定，在批的片数涉及多种等情况下，也可以根据各个状况变化。

标准作业时间计算部6进而计算属于该多个级别中的一个级别的多个资料的频数分布。该频数分布31如图4所示，表示资料的频数(数据件数)相对于作业时间，按照该多个级别的每一级别计算出多个。标准作业时间计算部6根据频数分布31计算事件前级别数据。该事件前级别数据按照每个频数分布31计算出一个，表示平均作业片数和峰值32。该平均作业片数表示该资料所示的作业片数的平均值。峰值32表示该资料的平均值。另外，峰值32也可以表示与平均值不同的其他代表值。作为该代表值例如有中数、模式、用户适当地确定的值。

图5表示该平均作业片数和峰值32的相关关系，即表示在该平均作业片数和峰值生成的空间中散布多个事件前级别数据35-1～35-u(u＝2，3，4，……)的散布图。在图5所示的例子中，是片数属于21-25片的级别的处理批的片数的平均值为24.41片，同样地，属于16-20片的处理批的片数的平均值为18.10片，属于11-15片的处理批的片数的平均值为13.69片的情况。各事件前级别数据35-i(i＝1，2，3，……，u)表示平均作业片数和峰值32。图5进而表示回归直线。该回归直线36以事件前级别数据35-i的平均作业片数所对应的值与事件前级别数据35-i的峰值的差的平方最小的方式被计算出来。

即，标准作业时间计算部6利用最小二乘法，基于该多个事件前级别数据计算回归直线36。标准作业时间计算部6进而根据回归直线36计算事件前标准停机时间和事件前每一片的处理时间。该事件前标准停机时间表示回归直线36横切峰值轴的截矩37，即相当于平均作业片数为0片的点。该事件前每一片的处理时间表示回归直线36的相对于平均作业片数的倾斜度。

标准作业时间计算部6与事件前实际成绩数据同样地，将实际成绩数据11的全部分级为多个级别，生成按照该多个级别的每一个级别的多个资料。标准作业时间计算部6接着计算属于该多个级别中的一个级别的多个资料的频数分布，基于该频数分布计算级别数据。该级别数据按照该每个频数分布计算出一个，表示平均作业片数和峰值。该平均作业片数表示该资料所示的作业片数的平均值。该峰值表示该资料的平均值。

标准作业时间计算部6参照事件种类信息表21，在由事件信息收集部4收集的事件识别信息所对应的固定要素表示截矩时，基于该事件前标准停机时间和该级别数据计算每一片的处理时间。该每一片的处理时间表示与回归直线36不同的直线的倾斜度。以该截矩与该事件前标准停机时间一致的方式、且该级别数据的平均作业片数所对应的值与该级别数据的峰值的差的平方的最小的方式计算该直线。标准作业时间计算部6根据该事件前标准停机时间、该每一片的处理时间、以及由作业片数收集部5收集的作业片数，计算标准作业时间。该标准作业时间表示该事件前标准停机时间和处理时间的和。该处理时间表示该每一片的处理时间和该作业片数的积。

标准作业时间计算部6在由事件信息收集部4收集的事件识别信息所对应的固定要素24表示倾斜度时，基于该每一片的处理时间和该级别数据计算标准停机时间。该标准停机时间表示与回归直线36不同的直线的截矩。以该倾斜度与该事件前每一片的处理时间一致的方式、且该级别数据的平均作业片数所对应的值和该级别数据的峰值的差的平方的最小值最小的方式计算该直线。标准作业时间计算部6根据该标准停机时间、该事件前每一片的处理时间以及由作业片数收集部5收集的作业片数，计算标准作业时间。该标准作业时间表示该事件前标准停机时间和处理时间的和。该处理时间表示该每一片的处理时间和该作业片数的积。

标准作业时间计算部6表示实际成绩数据11的装置类型13表示批量式作业时，计算如图6所示的该实际成绩数据11的作业时间16所示的停机时间的频数分布41。标准作业时间计算部6根据频数分布41计算标准停机时间。该标准停机时间表示频数分布41所示的停机时间的平均值。标准作业时间计算部6接着计算如图7所示的该实际成绩数据11的作业时间16所示的处理时间的频数分布42。标准作业时间计算部6根据频数分布42计算标准处理时间。该标准处理时间表示频数分布42所示的处理时间的平均值。标准作业时间计算部6根据标准停机时间和标准处理时间计算标准作业时间。该标准作业时间表示标准停机时间和标准处理时间的和。

图8表示本发明的一个实施方式的标准作业时间计算方法。用户首先按照每个作业生成一个实际成绩数据，输入到标准作业时间计算装置1。该实际成绩数据表示装置类型、实施日期时间、作业片数及作业时间。此时，用户根据从该作业的作业开始日期时间到作业结束日期时间为止的时间，计算实际成绩数据的作业时间。另外，作业时间也可以根据其他数据来计算。作为该数据，例如为从该作业的作业开始日期时间到同一物资的下一作业的作业开始日期时间为止的时间、同一物资的前作业的结束日期时间开始到该作业的作业开始日期时间为止的时间。用户在该作业是批量式作业时，进而按照每个该作业测定处理时间和停机时间，将该处理时间和停机时间添加到实际成绩数据。标准作业时间计算装置1将该输入的实际成绩数据存储到存储装置(步骤S1)。

在发生对作业的作业时间产生影响的事件时，用户生成与该事件相关的事件信息，将该事件信息输入到标准作业时间计算装置1。该事件信息表示识别该事件的事件识别信息。标准作业时间计算装置1将该事件识别信息存储在存储装置(步骤S2)。

用户在想要求出将要执行的作业的标准作业时间时，输入与该作业相关的作业信息。该作业信息表示该作业的装置类型和作业片数。该装置类型表示该作业的形式(片页式作业或批量式作业中的一个)，识别实施该作业的装置，表示该装置所属的装置组的名称、表示该装置的号机的号码以及该装置设定的处理条件。标准作业时间计算装置1将该作业信息暂时存储在存储装置(步骤S3)。

标准作业时间计算装置1从在步骤S1中输入的多个实际成绩数据中抽取装置类型与在步骤S3中收集的装置类型一致的实际成绩数据。标准作业时间计算装置1对该抽取的实际成绩数据进行统计处理(步骤S4)。

此时，标准作业时间计算装置1参照事件种类信息表21从数据区分条件23中计算在步骤S3中收集的事件识别信息所对应的条件。标准作业时间计算装置1利用该条件将该抽取的实际成绩数据分割成事件前实际成绩数据和事件后实际成绩数据。该事件前实际成绩数据由实际成绩数据中不满足该条件的实际成绩数据形成。该事件后实际成绩数据由实际成绩数据中满足该条件的实际成绩数据形成。

标准作业时间计算装置1在该作业信息的装置信息表示片页式作业时，将事件前实际成绩数据关于作业片数分级为多个级别，生成按照该多个级别的每个级别的多个资料。标准作业时间计算装置1进而计算属于该多个级别中的一个级别的多个资料的频数分布。标准作业时间计算装置1根据该频数分布计算事件前级别数据。该事件前级别数据按照每个频数分布计算一个，表示平均作业片数和峰值。标准作业时间计算装置1利用最小二乘法，基于该多个事件前级别数据计算回归直线36。标准作业时间计算装置1进而根据回归直线36计算事件前标准停机时间和事件前每一片的处理时间。

标准作业时间计算装置1与事件前实际成绩数据同样地，将实际成绩数据的全部关于作业片数分级成多个级别，生成按照该多个级别的每一个级别的多个资料。标准作业时间计算装置1接着计算属于该多个级别中的一个级别的多个资料的频数分布，根据该频数分布计算级别数据。该级别数据按照该频数分布的每一个计算一个，表示平均作业片数和峰值。

标准作业时间计算装置1参照事件种类信息表21，从固定要素24中计算在步骤S3中收集的事件识别信息所对应的要素。

标准作业时间计算装置1在该要素表示截矩时，基于该事件前标准停机时间和该级别数据计算每一片的处理时间。该每一片的处理时间表示与回归直线36不同的直线的倾斜度。以该截矩与该事件前标准停机时间一致的方式，且该级别数据的平均作业片数所对应的值与该级别数据的峰值的差的平方最小的方式计算该直线。标准作业时间计算装置1根据该事件前标准停机时间、该每一片的处理时间、以及由作业片数收集部5收集的作业片数，计算标准作业时间(步骤S5)。该标准作业时间表示该事件前标准停机时间和处理时间的和。该处理时间表示每一片的处理时间和该作业片数的积。

标准作业时间计算装置1在该要素表示倾斜度时，基于该每一片的处理时间和该级别数据计算标准停机时间。该标准停机时间表示与回归直线36不同的直线的截矩。以该倾斜度与该事件前每一片的处理时间一致的方式，且该级别数据的平均作业片数所对应的值与该级别数据的峰值的差的平方最小的方式计算该直线。标准作业时间计算装置1根据该标准停机时间、该每一片的处理时间、以及由作业片数收集部5收集的作业片数，计算标准作业时间(步骤S5)。该标准作业时间表示该事件前标准停机时间和处理时间的和。该处理时间表示每一片的处理时间和该作业片数的积。

标准作业时间计算装置1在该作业信息的装置信息表示批量式作业时，计算该实际成绩数据的停机时间的频数分布，根据该频数分布计算标准停机时间。标准作业时间计算装置1接着计算该实际成绩数据的处理时间的频数分布，基于该频数分布计算标准处理时间。标准作业时间计算装置1基于标准停机时间和标准处理时间计算标准作业时间(步骤S5)。该标准作业时间表示标准停机时间和标准处理时间的和。

图9表示该作业信息的装置类型表示片页式作业时，通过本实施方式的标准作业时间计算方法的比较例计算出的回归直线。图9是将事件后的数据(数批、平均片数为8.56片)追加到图5的数据，对事件的影响进行评价的例子。独立于事件计算该回归直线51。即，在该比较例中，标准作业时间计算装置1将实际成绩数据的全部关于作业片数分级成多个级别，生成按照该多个级别的每一个级别的多个资料。标准作业时间计算装置1进而计算属于该多个级别中的一个级别的多个资料的频数分布。标准作业时间计算装置1根据该频数分布计算级别数据。该级别数据按照每个频数分布计算一个，表示平均作业片数和峰值。标准作业时间计算装置1利用最小二乘法，基于该多个级别数据计算回归直线36。

该回归直线51在被这样计算出时，有时截矩表示为负数。标准停机时间在利用回归直线51被计算出时，表示为负数，是不合理的。标准作业时间利用该不合理的标准停机时间被计算出时，是不合理的。

图9进而表示通过本实施方式的标准作业时间计算方法计算的直线的实施例。该直线52是固定要素表示截矩时，通过本实施方式的标准作业时间计算方法计算出的回归直线。此时，直线52不会产生截矩表示负数的情况。因此，通过利用直线52，标准停机时间不会表示负数，更合理，标准作业时间更合理。该直线53是固定要素表示倾斜度时，通过本实施方式的标准作业时间计算方法计算出的回归直线。此时，直线53不会产生截矩表示负数的情况。因此，通过利用直线53，标准停机时间不会表示负数，更合理，标准作业时间更合理。

图10表示该作业信息的装置类型表示批量式作业时，通过本实施方式的标准作业时间计算方法计算出的处理时间的频数分布。该频数分布61表示在事件发生时，处理时间为不合理的分布(两级分布)的情况。标准处理时间在利用频数分布61被计算出时，是不合理的。标准作业时间利用该不合理的标准处理时间被计算出时，是不合理的。

本实施方式的标准作业时间计算方法，在步骤S2中收集的事件信息所对应的数据区分条件表示处理时间所能取的值的范围时，利用除了处理时间小于该范围的下限62的实际成绩数据和处理时间大于该范围的上限63的实际成绩数据以外的实际成绩数据，计算标准处理时间。即，该数据区分条件表示去除了全部实际成绩数据的下侧X％的实际成绩数据，去除了上侧Y％的实际成绩数据的情况。在该范围被合理设计时，该标准处理时间可以利用合理分布的实际成绩数据进行计算。根据这样利用由数据区分条件区分的实际成绩数据，计算出的标准处理时间更合理，标准作业时间利用该标准处理时间被计算出时，更合理。

数据区分条件进而也可以表示停机时间可以取的值的范围。此时，本实施方式的标准作业时间计算方法与数据区分条件表示处理时间的范围的情况同样地，利用除去了停机时间不包含在该范围内的实际成绩数据的实际成绩数据，计算标准停机时间。在合理设计该范围时，该标准作业时间可以利用合理分布的实际成绩数据计算出来。这样一来，通过利用由数据区分条件区分的实际成绩，计算出的标准停机时间更合理，标准作业时间利用该标准停机时间被计算出来时更合理。

这样计算出来的标准作业时间计算能够反映制造线状况、制造处理装置运转状况。因此，通过使用该标准作业时间，可以进行使制造线状况、制造处理装置运转状况任意变化的预测，可以进行一次使用多次不同的标准作业时间的生产线模拟及调度，也可以应对小生产线内的事件。

进而，根据这种动作，用户通过将事件识别信息输入到标准作业时间计算装置1中，能够使标准作业时间计算装置1区分实际成绩数据，没有必要计算数据区分条件。即，标准作业时间计算装置1能够使计算考虑到事件的标准作业时间时的用户操作更容易。

本发明的其他实施方式的标准作业时间计算方法，上述的实施方式中的步骤S2中收集的事件信息表示数据区分条件。即，用户在每次发生事件时，计算判断实际成绩数据是否受到该条件影响的条件，输入到标准作业时间计算装置1。标准作业时间计算装置1利用该数据区分条件，将该实际成绩数据分割成事件前实际成绩数据和事件后实际成绩数据。根据这种标准作业时间计算方法，标准作业时间计算装置1不需要记录事件种类信息表，更容易设计。

本发明的其他实施方式的标准作业时间计算方法将上述的实施方式中的步骤S4中计算出的回归直线的计算方法置换成其他计算方法。即，标准作业时间计算装置1在步骤S3中收集的作业信息的装置类型表示为片页式作业时，如图11所示，利用最小二乘法，基于该多个事件前实际成绩数据71计算回归直线72。标准作业时间计算装置1进而基于回归直线72计算事件前标准停机时间和事件前每一片的处理时间。

标准作业时间计算装置1参照事件种类信息表21，由固定要素24中计算在步骤S3中收集的事件识别信息所对应的要素。

标准作业时间计算装置1在该要素表示截矩时，根据该事件前标准停机时间、事件前实际成绩数据以及事件后实际成绩数据，计算每一片的处理时间。该每一片的处理时间表示与回归直线72不同的直线的倾斜度。以该截矩与该事件前标准停机时间一致的方式、且事件前实际成绩数据和事件后实际成绩数据中的一个数据的作业片数所对应的值与该数据的作业时间的差的平方最小的方式计算该直线。标准作业时间计算装置1根据该事件前标准停机时间、该每一片的处理时间以及由作业片数收集部5收集的作业片数，计算标准作业时间。该标准作业时间表示该事件前标准停机时间和处理时间的和。该处理时间表示该每一片的处理时间和该作业片数的积。

标准作业时间计算装置1在该要素表示倾斜度时，根据该每一片的处理时间、事件前实际成绩数据以及事件后实际成绩数据，计算标准停机时间。该标准停机时间表示与回归直线72不同的直线的截矩。以该倾斜度与该事件前每一片的处理时间一致的方式、且事件前实际成绩数据和事件后实际成绩数据中的一个数据的作业片数所对应的值与该数据的作业时间的差的平方最小的方式计算该直线。标准作业时间计算装置1根据该标准停机时间、该事件前每一片的处理时间以及由作业片数收集部5收集的作业片数，计算标准作业时间。该标准作业时间表示该事件前标准停机时间和处理时间的和。该处理时间表示该每一片的处理时间和该作业片数的积。

根据这种动作，不需要将实际成绩数据分割成多个级别，能够更容易地计算标准停机时间，能够更容易地设计标准作业时间计算装置1。

以上参照实施方式对本发明进行了说明，但本发明并不仅限于上述实施方式。在本发明的范围内本领域技术人员可以对本发明的结构或详细部分进行可以理解的各种变更。

例如可以将上述实施方式进行相互组合。事件数据库2、数据存储部3、事件信息收集部4、作业片数收集部5以及标准作业时间计算部6的一部分或全部也可以由电路实现。