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光学元件保持装置、镜筒、曝光装置以及器件的制造方法

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摘要

在光学元件保持装置(29)的不锈钢制框体(45)内，收纳与框体(45)的线膨胀系数不同的铝制缓冲部件(88)。使缓冲部件(88)与旋转链构件(81)的第1部件(81a)抵接。框体(45)具有被狭缝(75)分割的旋转链构件(81)、第2连接构件(80)、第1连接构件(79)以及移动构件(78)。缓冲部件(88)伴随温度变化而伸长，其产生的驱动力，通过旋转链构件(81)、第2连接构件(80)、第1连接构件(79)以及移动构件(78)被放大，传递到支撑部件(44)，使支撑部件(44)向透镜(28)侧移动。

著录项

  • 公开/公告号CN101772720A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-07-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社尼康;

    申请/专利号CN200880100236.5

  • 发明设计人 冈田尚也;

    申请日2008-05-20

  • 分类号G02B7/02;G03F7/20;H01L21/027;G02B7/198;

  • 代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人经志强

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-12-18 00:10:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-01-11

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B7/02 公开日:20100707 申请日:20080520

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2010-09-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B7/02 申请日:20080520

    实质审查的生效

  • 2010-07-07

    公开

    公开

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