法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-02
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H03F7/00 申请公布日:20120404 申请日:20111103
发明专利申请公布后的驳回
2012-06-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H03F7/00 申请日:20111103
实质审查的生效
2012-04-04
公开
公开
机译: 用于输入信号的锁相放大的装置和为锁相放大器生成参考信号的方法
机译: 用于具有RF传感器和相应的锁相放大器的基板处理设备的RF计量系统
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