滚筒印刷机以及使用该滚筒印刷机的滚筒印刷方法

技术领域

本申请要求享有2012年11月6日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请 第10-2012-0125068号和第10-2012-0125071号的优先权和利益，其全部内容 通过引用并入本文中。

本申请涉及一种滚筒印刷机和使用该滚筒印刷机的滚筒印刷方法。更具体 地，本申请涉及一种可以进行连续滚筒印刷从而降低粘性时间(tack time)并 提高生产率的滚筒印刷机和使用该印刷机的滚筒印刷方法。

背景技术

一般来讲，用于半导体电路元件和显示器件(例如LCD和PDP)中的精 细图案是通过使用光致抗蚀剂的照相印刷法形成，而且通常通过进行涂布步 骤、曝光步骤、显影步骤、清洗步骤以及固化步骤而制造。

然而，虽然照相印刷法具有可以获得所需精细图案的优点，但照相印刷法 也具有如下缺点：需要进行许多步骤，需要使用多种类型的材料以使光致抗蚀 剂的效果最大化，在例如涂布步骤的步骤中消耗大量的光致抗蚀剂。

近年来，为了解决照相印刷法的上述缺点，在建议采用滚筒印刷方式获得 精细图案的技术方面进行研究和开发。

用于形成图案的滚筒印刷机可以应用于各种方法(例如胶印、反向胶印以 及辊对辊印刷)，并且可以应用于广泛的领域以转移图案，例如，用于形成薄 膜晶体管(TFT)或等离子体显示面板(PDP)的电极的图案；作为彩色滤光 器构成元件的隔栅材料以及R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)的图案以及 黑色矩阵(BM)图案。

滚筒印刷机通常包括涂布器、印刷滚筒、印刷滚筒驱动装置、印版或用于 对准承印物载台的驱动装置以及载台作为最基本的构成元件，并且可以额外包 括印版和/或管道清洗装置、用于通过吸收在橡皮布中吸收的溶剂而干燥橡皮 布的干燥装置，以及各种类型的传感器。

通过滚筒印刷方法形成的图案的精度和图案转移效率很大程度上取决于 工艺条件，例如由涂布器至滚筒或滚筒的橡皮布的涂布状态，涂布步骤之后直 到图案转移到印版或承印物为止的挥发的溶剂的量和闲置时间，以及当转移图 案时由载台和滚筒或橡皮布之间的间隙形成的印刷压力。

特别地，通过为滚筒印刷方法的第一步骤的涂布滚筒或橡皮布时的涂布状 态，确定是否形成具有各种形状的色迹以及整体图案的均匀性。

通常来讲，根据以上所述的滚筒印刷机，其缺点在于：在使用印刷滚筒进 行一个印刷过程之后，直到通过再次准备印刷滚筒并涂布印刷滚筒进行印刷过 程为止，不可避免地需要粘性时间。

在此，粘性时间是指取下一个产品后直到装上随后的玻璃基板为止所需要 的时间，当制造液晶显示器(LCD)时，基于在照相印刷设备中装载玻璃基板 之后直到从照相印刷设备取下该玻璃基板为止所花费的时间，通过调整其他装 置的数量来设定粘性时间，并且即使在印刷滚筒的情况下，粘性时间类似地是 指当一个印刷滚筒进出移动时所需要的时间。在滚筒印刷的情况下，与照相印 刷设备相比，由于粘性时间，其具有生产速度相对低的限制。

发明内容

【技术问题】

本申请提供一种滚筒印刷机以及使用该滚筒印刷机的滚筒印刷方法，其可 以通过连续进行滚筒印刷改进粘性时间和生产率。

【技术方案】

本申请提供一种滚筒印刷机，其包括：印刷滚筒支架；印刷滚筒；设置在 印刷滚筒外表面上的橡皮布；涂布器，其用油墨涂布橡皮布的表面；印版；印 刷对象，其中，所述印刷滚筒设置为固定至所述印刷滚筒支架上以进行旋转运 动，并且通过印刷滚筒的旋转运动传送印版。

此外，本申请提供一种滚筒印刷方法，其包括：1)准备印刷滚筒，其设 置为固定至印刷滚筒支架上以进行旋转运动；橡皮布，其设置在所述印刷滚筒 外表面上；涂布器，其用油墨涂布橡皮布的表面；印版；空转滚筒，其设置在 印版下端；以及印刷对象；2)使印刷滚筒进行旋转运动并用油墨涂布橡皮布 的表面；3)在通过具有涂布有油墨的橡皮布的印刷滚筒的旋转运动使印版的 运转速度同步的同时，将油墨转移到印版；以及4)将未转移到印版上的存在 于橡皮布上的油墨印刷到印刷对象上。

此外，本申请提供使用所述滚筒印刷机印刷的印刷品。

此外，本申请提供包含所述印刷品的触摸面板。

【有益效果】

根据本申请，可以通过印刷滚筒的旋转运动传送印版，并且可以通过印刷 滚筒的旋转运动使印版的运转速度同步。因此，根据本申请的滚筒印刷机和滚 筒印刷方法可以连续进行滚筒印刷，并可以减少粘性时间，从而极大地提高生 产率。此外，可以有效地替换在其上完成印刷的印刷对象和随后将要印刷的印 刷对象，从而提高生产率。

附图说明

图1至图4是示意性地说明根据现有技术中的示例性实施方式的滚筒印刷 机和滚筒印刷方法的示意图。

图5和图6是示意性地说明根据现有技术中的示例性实施方式的滚筒印刷 机和滚筒印刷方法的示意图。

图7和图8是示意性地说明根据本申请的示例性实施方式的滚筒印刷机和 滚筒印刷方法的示意图。

图9是示意性地说明根据本申请的示例性实施方式的以传送带式平板印 刷机作为滚筒印刷机的示意图。

图10是示意性地说明根据本申请的示例性实施方式的以传送带式辊对辊 印刷机作为滚筒印刷机的示意图。

图11是示意性地说明根据本申请的示例性实施方式的包括印刷装置和清 洁装置的机器作为滚筒印刷机的示意图。

图12是示意性地说明根据本申请的示例性实施方式的滚筒印刷机的印刷 滚筒和印刷对象支撑单元的示意图。

图13是示意性地说明在根据本申请的示例性实施方式的滚筒印刷机的印 刷对象支撑单元中形成真空的方法的示意图。

图14是示意性地说明在进行单一蚀刻过程时根据初始图案化线宽的蚀刻 深度与最终蚀刻线宽之间的关系式的示意图。

图15是示意性地说明在进行单一蚀刻过程时，根据不同蚀刻深度，相对 于用于胶印的印版的印刷方向的线性图案的底部接触的结果的示意图。

图16是示意性地说明在进行单一蚀刻过程时，根据不同蚀刻深度，相对 于胶印的印版的方形图案的底部接触的结果的示意图。

图17是示意性地说明根据本申请的示例性实施方式的制造用于胶印的印 版的工艺的示意图。

图18是显示根据本申请的示例性实施方式的用于胶印的印版以及使用该 印版印刷的印刷品的显微图。

图19是显示根据本申请的示例性实施方式的用于胶印的印版的横截面的 电子显微图。

图20是显示在仅存在Cr的情况与存在CrOx的情况之间的HF的渗透的 相对差异的示意图。

<附图标记说明>

60：固定滚筒

70：自由旋转滚筒

80：多孔板

90：固定滚筒的真空孔形成区域

100：自由旋转滚筒的真空孔形成区域

110：橡皮布

120：膜状承印物

具体实施方式

下文中，将对本申请具体地描述。

本领域中常规的滚筒印刷机基本上包括涂布器、印刷滚筒、印刷滚筒驱动 器件、印版载台和承印物载台。橡皮布卷绕在印刷滚筒上，并且印版和承印物 分别置于印版载台和承印物载台上。印刷滚筒可以形成为圆柱形，且橡皮布设 置在印刷滚筒的外表面上。橡皮布可以由对油墨具有粘合性能且具有弹性的橡 胶制成。

印刷滚筒可以设置为相对于印版和承印物往复运动，以使得印刷滚筒从印 版接受图案，并将图案再转移到承印物。

印版载台和承印物载台可以安装在下框上，且该印版载台和承印物载台安 装成从该下框上可拆卸，从而根据不同的目的图案应用具有不同图案的印版。

印刷滚筒由驱动器件(例如印刷滚筒驱动电机)驱动，并在下框上方旋转 和移动(往复运动)，并且在此情况下，当印刷滚筒转动时，设置在印刷滚筒 外表面上的橡皮布与印版和承印物的上表面接触，从而使得图案从印版转移到 承印物。

也就是说，如下图1至4中所示，在现有技术中的滚筒印刷机具有如下工 艺流程，其中，在用油墨涂布印刷滚筒的橡皮布的过程之后，通过印刷滚筒的 移动和上下运动进行将油墨转移到印版的过程(转移过程(off process))和 在承印物上印刷油墨的过程(印刷过程)，并且印刷过程完成后，印刷滚筒返 回到油墨涂布位置。然而，就需要伴随着印刷滚筒(其为用于印刷的主要部件) 的移动，且印刷过程完成后印刷滚筒需要返回起始待机位置而言，单位过程需 要独立地分隔，从该观点来看，所述工艺流程在一定程度上具有工艺性能上的 缺点。

此外，如下图5和6所示，即使在柔性膜上进行印刷过程的情况下，现有 技术中的滚筒印刷机也具有需要伴随着印刷滚筒的移动的同样的问题。

因此，为了解决现有技术中的上述问题，解决所述问题的核心可以是开发 用于使印刷滚筒(用于印刷的主要部件)的移动最小化的方法。

根据本申请的滚筒印刷机包括：印刷滚筒支架；印刷滚筒；设置在印刷滚 筒外表面上的橡皮布；涂布器，其用油墨涂布橡皮布的表面；印版；以及印刷 对象；其中，所述印刷滚筒设置为固定至所述印刷滚筒支架上以进行旋转运动， 并且通过印刷滚筒的旋转运动传送印版。

根据本申请，可以通过印刷滚筒的旋转运动使印版的运转速度同步。如上 所述，可以通过印刷滚筒的旋转运动使印版的运转速度自动同步，因此不需要 用于使印版同步的控制装置等。

此外，所述滚筒印刷机可以额外地包括空转滚筒，且所述空转滚筒可以设 置在印版下端。

根据本申请，所述空转滚筒是指不被供给动力且可以不利用动力而自主旋 转的滚筒。也就是说，所述空转滚筒是指这样的滚筒，当任何动力传送到该滚 筒时其可以旋转，而当动力没有传送至该滚筒时其不旋转。由于轴承连接至所 述空转滚筒的两侧，所以该所述空转滚筒可以旋转，并且对于使用所述空转滚 筒的位置，可以适当地使用钢滚筒、橡胶滚筒、塑料滚筒等。

可以设置多个空转滚筒，且可以通过印版的操作自由旋转多个空转滚筒。

根据本申请，所述空转滚筒可以形成为传送带的形式。在此情况下，可以 额外设置导向滚筒等以防止当通过印刷滚筒进行转移和印刷过程时印版损坏 和抬起。

所述空转滚筒可以由相应的技术领域中已知的材料制成。更具体地，所述 空转滚筒可以由橡胶、钢等制成，但其材料不限于此。

此外，可以设置或可以不设置用于驱动所述空转滚筒的单独装置。

根据本申请，所述印版可以装载至所述空转滚筒上以使其与印刷滚筒的下 部接触，从而可以通过印刷滚筒的旋转运动使印版的运转速度同步。

根据本申请，所述印刷对象可以是平板型承印物，所述平板型承印物可以 设置在空转滚筒上。所述平板型承印物可以是玻璃、塑料膜等，但不限于此。

根据本申请，所述滚筒印刷机可以额外包括支撑印刷对象的滚筒型支撑单 元，以及所述印刷对象可以是膜状承印物。所述膜状承印物可以是塑料膜等， 但不限于此。

所述滚筒印刷机可以额外包括连续供给膜状承印物的印刷对象供给单元， 以及连续收集膜状承印物的印刷对象收集单元。在此情况下，所述滚筒型支撑 单元可以设置在所述印刷对象供给单元与所述印刷对象收集单元之间，以及所 述膜状承印物可以设置在所述滚筒型支撑单元上。

根据本申请，只要所述膜状承印物可以通过所述印刷对象供给单元和印刷 对象收集单元的操作连续供给，并且想要印刷的印刷品图案可以转移到该膜状 承印物上，则对膜状承印物的材料和厚度没有特别的限定。

根据本申请，所述印刷对象供给单元和印刷对象收集单元可以连续供给膜 状承印物，使得膜状承印物在一个方向上移动。根据本申请，所述印刷对象供 给单元可以是开卷机，所述印刷对象收集单元可以是复卷机。在下文中，所述 印刷对象供给单元以开卷机为例，以及所述印刷对象收集单元以复卷机为例， 但只要所述结构可以连续供给膜状承印物，其结构没有特别限定。

如有必要，开卷机和复卷机的运行可以间歇地进行控制。因此，根据本申 请，间歇地连续印刷是可能的。在本申请中，术语间歇地连续印刷可以理解为 如下过程，其中，在印刷过程中，在必要步骤间歇地控制开卷机和复卷机的运 行，同时将设置在开卷机和复卷机上的膜状承印物连续地供给至滚筒型支撑单 元上，使得印刷图案转移到膜状承印物。为了进行前述的间歇地连续印刷，滚 筒印刷机可以进一步包含间歇地控制开卷机和复卷机运行的控制单元。

根据本申请的滚筒印刷机可以进一步包括控制膜状承印物和复卷机的位 置的位置控制单元，以使得当将膜状承印物卷绕在复卷机上时，将膜状承印物 卷绕在复卷机的适当位置上。所述位置控制单元可以是电子位置控制器 (EPC)。

根据本申请的滚筒印刷机可以额外包括控制单元，当膜状承印物的印刷目 标区域位于滚筒型支撑单元上时，该控制单元停止开卷机和复卷机的运行，并 在转移印刷品图案的过程完成后，重新启动开卷机和复卷机的运行。

在施加张力至膜状承印物的情况下，当将精细图案印刷到膜状承印物上 时，根据本申请的滚筒印刷机是有利的。例如优选施加1Kgf/m(膜宽度)以 上、3Kgf/m(膜宽度)以上、5至10Kgf/m(膜宽度)以上的张力至膜状承印 物。所述张力可以通过调整所述开卷机和膜状承印物复卷机的运行，或者通过 将在下文中描述的夹持单元施加。在此，根据本申请的滚筒印刷机可以额外包 括控制膜状承印物的张力的张力控制单元。

根据本申请的滚筒印刷机可以额外包括驱动电机，其在印刷滚筒方向上上 下移动所述滚筒型支撑单元，同时旋转所述滚筒型支撑单元。

根据本申请，可以在开卷机与印刷对象支撑单元之间、复卷机与滚筒型支 撑单元之间，或者同时在开卷机与滚筒型支撑单元之间以及复卷机与滚筒型支 撑单元之间进一步包括用于阻断施加至膜状承印物的张力的夹持单元。

所述夹持单元被固定到滚筒型支撑单元上，以使得当对准所述滚筒型支撑 单元时，所述夹持单元可以与所述滚筒型支撑单元一起移动。所述夹持单元可 以与所述滚筒型支撑单元在上下方向上一起移动。

根据本申请，如上所述，由于所述膜状承印物通过上述开卷机和复卷机连 续供给，因而需要调整膜状承印物的位置以使得在印刷过程中图案可以印刷到 准确位置上，且在此情况下，为了调整膜状承印物的位置，需要阻断施加到膜 状承印物的张力。根据本申请，可以通过夹持单元阻断施加到膜状承印物的张 力。此外，所述夹持单元还可以用于将预定量或更大的张力施加到膜状承印物。

优选地，当所述印刷品图案转移到所述滚筒型支撑单元上的膜状承印物上 时，所述夹持单元固定膜状承印物，并且当所述开卷机和复卷机运行时移动， 以便不阻碍膜状承印物的移动。为此，根据本申请的滚筒印刷机可以进一步包 括用于控制夹持单元的控制单元。

所述夹持单元可以向下移动使得印刷滚筒的移动路径不受阻碍，或者在印 刷过程中，通过滚筒型支撑单元的真空抽吸单元有效进行真空抽吸。此外，所 述夹持单元可以向上移动以使膜状承印物下表面上不形成划痕。因此，根据本 申请的滚筒印刷装置可以包括用于使所述夹持单元上下移动的驱动单元。

为了不阻碍印刷滚筒的移动路径，或者防止在膜状承印物下表面上形成划 痕，所述滚筒型支撑单元可以上下移动。

根据本申请的滚筒印刷机可以进一步包括辅助固定单元，以便稳定地将印 刷膜供给至所述夹持单元。优选地，所述辅助固定单元设置在开卷机与夹持单 元之间。

根据本申请的滚筒印刷机可以进一步包括滚筒型支撑单元的位置控制单 元，以对准印刷对象。所述滚筒型支撑单元的位置控制单元可以设置成与所述 滚筒型支撑单元连接。在将印刷品图案转移到膜状承印物上之前，所述滚筒型 支撑单元的位置控制单元可以对准滚筒型支撑单元，以便印刷品图案通过印刷 滚筒转移到膜状承印物上的适当位置。此外，如上所述，所述膜状承印物可以 通过所述滚筒型支撑单元的位置控制单元上下移动，从而可以防止在膜状承印 物的下表面上形成划痕。

根据本申请的滚筒印刷机可以进一步包括设置在滚筒型支撑单元与复卷 机之间的干燥或固化单元。所述干燥或固化单元可以干燥或固化转移到膜状承 印物上的印刷品图案。所述干燥或固化单元可以包括控制装置，以便在适当条 件下干燥或固化印刷品图案。根据本申请，由于印刷对象可以具有膜的形式， 优选根据膜材料调节干燥或固化温度。

根据本申请的滚筒印刷机可以进一步包括设置在滚筒型支撑单元与复卷 机之间的第二开卷机，并供给打算要与膜状承印物层压的膜。由所述第二开卷 机供给的膜的类型没有特别限定，只要所述膜可以与所述膜状承印物层压即 可。为了进行层压，在所述膜状承印物和由所述第二开卷机供给的膜卷绕在所 述复卷机之前，根据本申请的滚筒印刷机可以进一步包括层压装置。例如，根 据本申请的滚筒印刷机可以进一步包括挤压装置。所述挤压装置可以设置为具 有两个滚筒的结构。两层膜可以通过前述的挤压装置层压。

所述滚筒型支撑单元的驱动速度可以与转印印刷品图案的印刷滚筒的驱 动速度同步。也就是说，优选地，所述滚筒型支撑单元运行的线性速度与所述 印刷滚筒运行的线性速度相匹配。据此，可以转印精细图案。在此情况下，当 计算印刷滚筒的驱动速度时，优选基于包括橡皮布的整个印刷滚筒计算驱动速 度。

可以调节滚筒型支撑单元与印刷滚筒之间的压力，以使得可以转印精细图 案。

根据根据本申请的滚筒印刷机，所述滚筒型支撑单元可以是空转滚筒。在 此情况下，所述滚筒型支撑单元的旋转速度可以通过印刷滚筒的旋转运动而同 步。

此外，所述滚筒型支撑单元可以包括：固定滚筒；自由旋转滚筒，其设置 在所述固定滚筒的外表面上；以及多孔板，其设置在所述自由旋转滚筒的外表 面上。在所述滚筒型支撑单元中，在固定滚筒的具有相对于膜状承印物和印刷 滚筒接触的区域的一定角度的区域内可以形成真空孔。其中，基于滚筒型印刷 膜支撑单元的旋转轴，所述角度可以是0.1°至180°，但不限于此。此外，真空 孔可以在所述自由旋转滚筒的整个区域内形成。

可以通过垂直打孔形成所述固定滚筒和自由旋转滚筒的真空孔，并且仅当 所述固定滚筒的真空孔和所述自由旋转滚筒的真空孔重合在一起时可以形成 真空。

如上所述，下图13示意性地说明当所述固定滚筒的真空孔和所述自由旋 转滚筒的真空孔重合在一起时，在所述滚筒型印刷膜支撑单元中形成真空的状 态。

也就是说，在根据本申请的滚筒印刷机中，真空孔仅在固定滚筒的与膜承 印物和印刷滚筒接触的区域相对应的区域中形成，以使得当整个滚筒型支撑单 元形成真空时，可以仅在膜状承印物和印刷滚筒接触的区域形成真空，而在膜 状承印物和印刷滚筒不接触的区域可以不形成真空。因此，在进行通过由聚二 甲硅氧烷(PDMS)制成的印刷滚筒的橡皮布进行的图案转印过程时可以防止 由于膜状承印物抬起造成的图案转印的缺陷。

如上所述，下图12说明包括固定滚筒、自由旋转滚筒和多孔板的滚筒型 支撑单元的示例性实施方式。

在根据本申请的滚筒印刷机中，可以使用狭缝涂布器或滚筒涂布器作为涂 布器，但该涂布器不限于此。

可以使用用于精密加工的具有通过电解抛光处理的表面的不锈钢制造所 述印刷滚筒。作为具体的实施例，可以使用具有通过电解抛光处理的表面的 SUS304不锈钢、SUS305不锈钢或SUS316不锈钢制造所述印刷滚筒。当使用 金属元素(例如镍)处理不锈钢表面时，可以防止不锈钢腐蚀和氧化。

所述印刷滚筒可以包括单一滚筒，且可以具有橡皮布卷绕在两个以上的滚 筒上的形式。

此外，根据本申请的滚筒印刷机可以额外地包括允许所述印刷滚筒支架或 印刷滚筒进行上下运动和左右直线运动的驱动装置。

在根据本申请的滚筒印刷机中，由于油墨组合物的含量等与对应技术领域 中已知的相同，将省略其具体描述。

根据本申请的滚筒印刷机可以应用于反向胶印。

根据本申请的滚筒印刷装置可以应用于各种领域，例如制造彩色滤光器图 案、半导体和导体的工艺，或者制造使用绝缘材料膜构成栅极-栅极绝缘膜-有 源-无源-像素的薄膜晶体管(TFT)基板的工艺。

此外，本申请提供一种使用所述滚筒印刷机的滚筒印刷方法。

此外，根据本申请的滚筒印刷方法包括：1)准备印刷滚筒，所述印刷滚 筒设置为固定至印刷滚筒支架上以进行旋转运动；橡皮布，其设置在所述印刷 滚筒外表面上；涂布器，其用油墨涂布橡皮布的表面；印版；空转滚筒，其设 置在印版下端；以及印刷对象；2)使印刷滚筒进行旋转运动并用油墨涂布橡 皮布的表面；3)当通过具有涂布有油墨的橡皮布的印刷滚筒的旋转运动使印 版的运转速度同步时，将油墨转移到印版上；以及4)将未转移到印版上的存 在于橡皮布上的油墨印刷到印刷对象上。

根据本申请，印刷对象可以是平板型承印物或膜状承印物。由于所述平板 型承印物和膜状承印物与以上所述的相同，将省略其具体描述。

根据本申请，可以同时进行2)用油墨涂布橡皮布的表面和3)将油墨转 移到印版上。

此外，可以同时进行3)将油墨转移到印版上和4)将油墨印刷到印刷对 象上。

此外，可以同时进行2)用油墨涂布橡皮布的表面、3)将油墨转移到印 版上和4)将油墨印刷到印刷对象上。

更具体地，下图7显示根据本申请的示例性实施方式的滚筒印刷机和滚筒 印刷方法。下图7显示在印刷对象为平板型承印物的情况下的滚筒印刷机和滚 筒印刷方法。

如图7所示，在滚筒印刷机右侧装载的印版通过印刷滚筒与面向该印刷滚 筒的空转滚筒之间，并且在此情况下，旋转印刷滚筒和空转滚筒以调整印刷滚 筒与空转滚筒之间的空隙，从而使用所需的印刷压力进行转移过程(off  process)。此后，将转移图案(off pattern)转印到连续装载的印刷对象上， 在装载另外的印版之前再用油墨涂布印刷滚筒的橡皮布，之后通过重新装载印 版进行转移过程。

在此情况下，已经通过印刷滚筒与空转滚筒之间的印版和印刷对象可能损 坏，同时抬起，且为了防止损坏，可以使用比印刷滚筒粘性更强的滚筒作为为 下滚筒的空转滚筒，或者可以利用在印版或印刷对象边缘安装防止印版和印刷 对象抬起的辅助滚筒的方法。

此外，下图8示出根据本申请的滚筒印刷机和滚筒印刷方法。下图8示例 性地说明了其中印刷对象为膜状承印物的情况。

在下图8中，当初始装载的印版从印刷滚筒的右侧向左侧直线移动时，可 以进行油墨涂布和转移过程。之后，可以在设置在滚筒型支撑单元上的膜状承 印物上进行印刷过程(set process)。

当需要更快的过程速度时，可以同时进行转移过程和印刷过程。这可能是 通过如下特征而获得的优点：根据本发明的印刷滚筒的旋转方向在过程条件期 间不需要改变，以及印刷滚筒可以在单一方向上旋转。

在根据本发明的滚筒印刷机中，空转滚筒可以以传送带的形式形成。在此 情况下，可以额外设置引导滚筒等以防止当通过印刷滚筒进行转移和印刷过程 时印版损坏和抬起。

作为根据本申请的示例性实施方式的滚筒印刷机，在图9中示例性地示出 传送带型平板印刷机，并在图10中示例性地示出传送带型辊对辊印刷机。

此外，作为根据本申请的示例性实施方式的滚筒印刷机，在下图11中示 例性地示出包括印刷装置和清洁装置的印刷机。如上所述，在根据本申请的印 刷机与清洁装置一起设置的情况下，生产率可以更显著地提高，以及在所述印 刷机与该清洁装置一起设置成多层类型的情况下，可以获得更优异的效果。

根据本申请，印版可以具有凹槽图案，至少所述凹槽图案的部分区域的深 度可以与其余区域的深度不同。印版可以控制底部接触现象(其是在相关领域 中当实现宽线宽时引起的问题)，且可以具有不同线宽和蚀刻深度。

在印版中，具有不同深度凹槽图案的区域可以包含具有不同线宽凹槽图案 的区域。为了防止印版的底部接触现象，优选地，与具有相对更小线宽的区域 相比，具有相对更大线宽凹槽图案的区域包含具有更大深度的区域。

如图14所示，在单一蚀刻的情况下，可以通过图案化线宽W₀与蚀刻前 蚀刻深度D之间的关系式确定最小线宽W，仅当线宽W对应于图表中的可印 刷区域时，印刷可能无底部接触。因此，在单一蚀刻的情况下，可印刷的线宽 和间距受限于蚀刻深度。为了克服该限制，本申请引入双蚀刻过程，使得可以 制造具有不同蚀刻深度和线宽的印版，且可以使用该印版形成具有不同线宽和 间距的印刷品。

凹槽图案可以同时包含至少两种类型的具有不同线宽的图案，所述至少两 种类型的图案之间的线宽的差异为15μm以上。所述具有15μm以上差异线宽 的至少两种类型的图案可以彼此连接。也就是说，所述凹槽图案可以包含这样 的图案：具有最小线宽的区域与通过双蚀刻过程形成的新线宽区域连接。

所述凹槽图案可以包括具有15μm以上的线宽差异的两种以上类型的图 案，而且所述凹槽图案可以额外包括具有与最小线宽相差500μm以上的线宽 的图案。

在不具有凹槽图案的印版区域中可以额外地包含对准键(align key)。

此外，制造印版的方法的一个示例性实施方式包括：1)在基板上形成第 一掩模图案；2)在基板和第一掩模图案上形成第二掩模图案；3)使用所述第 二掩模图案蚀刻基板；4)移除第二掩模图案；以及5)以不同于步骤3)中使 用第二掩模图案蚀刻基板的蚀刻深度，使用第一掩模图案蚀刻基板。

此外，制造印版的方法的另一个示例性实施方式包括：1)在基板上形成 第一掩模图案；2)在基板和第一掩模图案上形成用于第二掩模图案的面层 (front layer)；3)在所述用于第二掩模图案的面层上形成第三掩模图案；4) 使用第三掩模图案形成第二掩模图案；5)使用第二掩模图案蚀刻基板；6)移 除第二掩模图案；以及7)以不同于步骤5)中使用第二掩模图案蚀刻基板的 蚀刻深度，使用第一掩模图案蚀刻基板。

根据所述制造印版的方法，可以使用透明玻璃基板、塑料膜基板等作为基 板，但所述基板不限于此。

根据所述制造印版的方法，优选地，第一掩模图案和第二掩模图案包含如 下材料，其对基板具有优异粘合力，而且当使用所述材料形成第二掩模图案时， 不蚀刻第一掩模图案。

更具体地，第一掩模图案可以包含选自铬、镍、其氧化物及其氮化物中的 一种或多种材料，以及第二掩模图案可以包含选自钼及氧化钼中的一种或多种 材料。

根据所述制造印版的方法，可以使用相应技术领域已知的方法作为基板的 蚀刻方法；且更具体地，可以使用利用HF溶液的湿式蚀刻方法，但所述方法 不限于此。

为了解决以上提出的问题，本申请使用双蚀刻方法制造印版，所述双蚀刻 方法是通过应用使用现有的单一蚀刻方法制造印版的方法得到的。为此，本申 请引入包含对准过程的双图案化方法，并在湿式蚀刻过程中连续进行深区域的 蚀刻过程和浅区域的蚀刻过程。

更具体地，本申请首先在CrOx/Cr沉积的玻璃上进行整个图形区域(包括 用于二次曝光的对准键)的图案化；进行CrOx/Cr的图案化(进行CrOx/Cr 蚀刻和PR分离)，以及再在其整个表面上沉积Mo。在此情况下，使用双层 CrOx/Cr的原因在于Cr的锥角高，使得其后沉积的材料(Mo)的堆叠覆盖度 不规则地形成，且当进行第一HF蚀刻过程时，氢氟酸液体可以渗入空隙，因 此，为了防止渗入，引入与Cr相比具有相对低的锥角且与Cr相比具有低的蚀 刻速度以形成尾部(Tail)的CrOx是有利的。图20是显示在仅存在Cr的情 况与存在CrOx的情况之间的HF的渗透的相对差异的示意图。

在CrOx/Cr图案化过程之后，进行打开对准键区域(其起初被图案化)的 过程(例如阴影遮盖的方法)。之后，在二次沉积Mo的玻璃上再次涂布光致 抗蚀剂，相对于具有不同蚀刻深度的区域进行Mo的图案化过程，然后将通过 前述方法制造的第一主印版载入玻璃蚀刻过程。根据所述玻璃蚀刻过程，第一 蚀刻过程基本上通过HF浓度和温度的最优化进行蚀刻过程以蚀刻深的蚀刻深 度。之后，移除光致抗蚀剂和Mo后，可以进行用于实现浅的玻璃蚀刻深度的 第二蚀刻过程。

可以进行上述过程的理由是CrOx/Cr不是主要由Mo蚀刻剂蚀刻，并且具 有蚀刻过程的选择比的金属组合可以易于应用于本过程。

根据本申请，为了保证比印版的单一蚀刻过程和双蚀刻过程更精确的蚀刻 深度，使用将在下文中描述的方法确认底部接触区域。首先，为了确认相对于 平行于印刷方向的线性图案在单一蚀刻过程的底部接触现象，对于相对各种蚀 刻深度的各个印刷压力，确认具有线宽和间距的开口率(通过线宽定义凹槽) 与蚀刻深度之间的相互关系。结果如图15中所示，确认底部接触区域并不显 著依赖于印刷压力，但随着开口率不同而显著不同。在此情况下，在变化图中， 使用线宽和间距定义开口率的情况下，可印刷区域可以通过以下关系式1表 示：

[关系式1]

D≥42.9exp(-{(P-W)/P}/0.35)-1.5

在关系式1中，D是指蚀刻深度，P是指间距，W是指图案线宽，并且所 有单位均为微米。

此外，在本发明中，针对非前述二维线性图案的封闭图案(例如网格和方 形图案)也进行相同的测试。结果，可以得到如图16中所示的曲线图，并且 在该变量曲线图中，利用线宽和间距定义开口率的情况下，可以通过以下关系 式2表示可印刷区域。

[关系式2]

D≥33.8exp(-{(P-W)/P}/0.235)+0.82

在关系式2中，D是指蚀刻深度，P是指间距，W是指图案线宽，并且所 有单位均为微米。

因此，在对于不满足具有预定蚀刻深度的关系式的区域需要进行图案化的 情况下，通过重新定义对应于该区域的蚀刻深度D以额外确保可印刷区域的 方法被认为是有效的方法，且为了形成所述蚀刻深度，使用如图17所示的方 法制造双蚀刻印版，并且在此情况下，证实可以确保由图15的虚线指示的新 的可打印区域。

图18显示根据本发明示例性实施方式的用于胶印的印版的显微图，以及 使用该印版印刷的印刷制品，图19显示根据本发明示例性实施方式的用于胶 印的印版的横截面的SEM图。

如上所述，当制造所述印版时，本申请包括双蚀刻过程，以便控制当实现 宽线宽时引起的为现有技术问题的底部接触现象，并且可以制造具有各种线宽 和蚀刻深度的用于胶印的印版。

此外，本发明提供使用所述滚筒印刷机印刷的印刷品。

所述印刷品可以包含具有不同线宽的至少两种类型的图案，所述至少两种 类型的图案之间的线宽的差异可以是15μm以上。

此外，本发明提供包括所述印刷品的触摸面板。

除了所述触摸面板包括使用根据本发明所述的滚筒印刷机和滚筒印刷方 法印刷的印刷品以外，可以使用相关领域中已知的材料、制造方法等制造该触 摸面板。

根据本申请，可以通过印刷滚筒的旋转运动传送印版，并且可以通过印刷 滚筒的旋转运动使印版的运转速度同步。因此，根据本申请的滚筒印刷机和滚 筒印刷方法可以连续进行滚筒印刷，且可以降低粘性时间，从而显著地提高生 产率。此外，在其上完成印刷的印刷对象和随后将要印刷的印刷对象可以有效 地替换，从而提高生产率。