公开/公告号CN108431693A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-08-21
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201680075231.6
发明设计人 玛丽亚·皮特;埃里克·阿奇里斯·阿贝格;A·J·M·吉斯贝斯;J·H·克洛特韦克;马克西姆·A·纳萨勒维奇;W·T·A·J·范登艾登;威廉·琼·范德赞德;彼得-詹·范兹沃勒;J·P·M·B·沃缪伦;D·F·弗莱斯;W-P·福尔蒂森;
申请日2016-10-11
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人张启程
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 06:17:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20161011
实质审查的生效
2018-08-21
公开
公开
机译: 方法,用于光刻设备的防护膜,光刻设备,器件制造方法,用于防护膜的设备以及用于制造该光刻设备的防护膜的用于防护膜的方法
机译: 用于光刻设备的防护膜的制造方法,用于光刻设备的防护膜设备,光刻设备,器件制造方法,防护膜处理设备和防护膜处理方法
机译: 用于光刻设备的膜以及包括该膜的光刻设备