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图案形成方法、加工基板的生产方法、光学部件的生产方法、电路板的生产方法、电子部件的生产方法和压印模具的生产方法

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提供在基板上形成图案的方法，该方法包括：在基板的表面上层叠包含作为聚合性化合物的组分(a1)的固化性组合物(A1)的层；在固化性组合物(A1)的层上离散地滴落至少包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(A2)的液滴；将固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)的混合层夹持在具有图案的模具和基板之间；用光照射混合层以使混合层固化；和使模具与固化后的混合层脱离，其中固化性组合物(A1)中的作为聚合性化合物的组分(a1)和固化性组合物(A2)之间的汉森距离Ra((a1)‑(A2))为6以下。

著录项

公开/公告号CN108885976A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-23

原文格式PDF
申请/专利权人佳能株式会社;
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申请/专利号CN201780022176.9
发明设计人饭村晶子;伊藤俊树;
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申请日2017-03-29
分类号H01L21/027(20060101);B29C59/02(20060101);
代理机构11398 北京魏启学律师事务所;
代理人魏启学
地址日本东京都大田区下丸子3丁目30番2号
入库时间 2023-06-19 07:21:40

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-12-18

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20170329

实质审查的生效
2018-11-23

公开

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