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公开/公告号CN112596337A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-02
原文格式PDF
申请/专利权人 山东大学;
申请/专利号CN202011584480.2
发明设计人 张成鹏;郭奕冲;江增峰;周晶昆;杨少华;季金;陈帅;
申请日2020-12-28
分类号G03F7/00(20060101);
代理机构37221 济南圣达知识产权代理有限公司;
代理人任欢
地址 250061 山东省济南市历下区经十路17923号
入库时间 2023-06-19 10:27:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-29
授权
发明专利权授予