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采用微纳加工工艺的气体微泵制备方法及其所得气体微泵

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摘要

本发明公开了一种采用微纳加工工艺的气体微泵制备方法及其所得气体微泵。本发明通过微纳加工工艺实现了气体微泵的加工，解决了气体微泵机械制备方式的尺寸限制的问题，能够将气体微泵的尺寸控制在1‑5mm，进一步实现了气体微泵的小型化，极大地将气体微泵微型化和集成化。此外，相较于传统泵的通过硅粘结剂粘结，本发明中层与层之间利用键合工艺连结，从而大大缓解了因粘结剂造成的器件性能迥异以及不稳定的情况，并在一定程度上提高了器件的密封性能，进一步增大气体的传输速度，开拓了气体微泵在多个领域的应用前景。

著录项

  • 公开/公告号CN114151317A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-03-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 杭州电子科技大学;

    申请/专利号CN202111341859.5

  • 发明设计人 轩伟鹏;倪嘉锋;李懿霖;李文钧;骆季奎;

    申请日2021-11-12

  • 分类号F04B45/047(20060101);F04B39/12(20060101);F04B39/06(20060101);F04B39/00(20060101);

  • 代理机构33240 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人陈炜

  • 地址 310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街

  • 入库时间 2023-06-19 14:26:44

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-08

    公开

    发明专利申请公布

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