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一种具有抗单粒子烧毁能力的功率器件

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本发明公开一种具有抗单粒子烧毁能力的功率器件，包括衬底，在所述衬底下方设置有漏极，所述衬底上方设置有硅外延层，所述硅外延层上方设置有Si1‑xGex源极层和绝缘栅层，所述Si1‑xGex源极层和所述绝缘栅层左右相接，所述Si1‑xGex源极层上方设置有金属源极。本发明能够有效改善器件的抗单粒子烧毁效应，优化器件的整体性能。

著录项

公开/公告号CN114171578A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-11

原文格式PDF
申请/专利权人大连海事大学;
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申请/专利号CN202111457429.X
发明设计人王颖;黄昊;李兴冀;杨剑群;包梦恬;曹菲;
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申请日2021-12-02
分类号H01L29/06(20060101);H01L29/165(20060101);H01L29/78(20060101);
代理机构11901 北京盛询知识产权代理有限公司;
代理人方亚兵
地址 116000 辽宁省大连市甘井子区凌水街道凌海路1号
入库时间 2023-06-19 14:28:14

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2022-03-11

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