公开/公告号CN114203851A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-18
原文格式PDF
申请/专利权人 嘉兴阿特斯技术研究院有限公司;
申请/专利号CN202010904648.7
申请日2020-09-01
分类号H01L31/074(20120101);H01L31/0216(20140101);H01L31/18(20060101);
代理机构11742 北京景闻知识产权代理有限公司;
代理人朱鸿雁
地址 314000 浙江省嘉兴市秀洲区高照街道康和路325号1号楼、2号楼
入库时间 2023-06-19 14:32:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-18
公开
发明专利申请公布