公开/公告号CN114203179A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-18
原文格式PDF
申请/专利权人 山东浪潮科学研究院有限公司;
申请/专利号CN202111266564.6
发明设计人 高坤;
申请日2021-10-28
分类号G10L15/26(20060101);G10L15/18(20130101);G10L15/30(20130101);
代理机构11002 北京路浩知识产权代理有限公司;
代理人肖艳
地址 250101 山东省济南市高新区浪潮路1036号浪潮科技园
入库时间 2023-06-19 14:32:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-18
公开
发明专利申请公布
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置