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一种基于1：3频率比非线性静电耦合的MEMS谐振式静电计

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本发明涉及一种基于1：3频率比非线性静电耦合的MEMS谐振式静电计，其高频谐振器模块与低频谐振器模块相邻，位于两个激励模块之间，激励模块通过施加电信号来对通有直流电的高频谐振模块与低频谐振模块产生激励，高频谐振器模块与低频谐振模块通过受激励板形成电容，通过电容极板之间的静电力在高频谐振模块与低频谐振模块之间传递能量，使高频谐振模块与低频谐振模块的运动状态产生耦合，低频谐振梁与高频谐振梁的固有频率比为1：3，高频谐振器模块和低频谐振器模块分别通过功率放大器检测各自的运动状态。本发明克服了传统谐振式静电计利用线性区域测量的局限性，为谐振式静电计的研究拓宽了道路。

著录项

公开/公告号CN114200223A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-18

原文格式PDF
申请/专利权人浙江大学;
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申请/专利号CN202111482786.1
发明设计人肖尊浩;施展;宦荣华;王雪峰;浦东;韦学勇;
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申请日2021-12-07
分类号G01R29/24(20060101);H03H9/125(20060101);H03H9/24(20060101);
代理机构33334 杭州广奥专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人吴昊
地址 310063 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
入库时间 2023-06-19 14:34:26

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法律状态
2022-03-18

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