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一种用于千米级IBAD-MgO长带的生产工艺

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摘要

本发明公开一种用于千米级IBAD‑MgO长带的生产工艺，包括：打开RHEED及KSA400软件，选取合适的采集框，采集框的起始位置和宽度固定，高度根据衍射斑点大小自行调节；调整图像的曝光时间，使得采集框内图像的最高强度维持在50%左右；软件以一定的间隔时间抓拍n张RHEED衍射出来的二维点阵图像；从每张图像的直方图里提取出标准偏差与平均强度的数据；通过软件计算出标准偏差与平均强度的比值并计算n张二维点阵图像的比值的平均值；将计算的平均值与最佳制备工艺条件的数值进行对比。在可允许的差值范围内调整沉积源的束流电流。这样可以准确判断出MgO准单晶生长的好坏，并准确判断出离子源参数需要调整的范围。

著录项

  • 公开/公告号CN114242335A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-03-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州新材料研究所有限公司;

    申请/专利号CN202111656909.9

  • 发明设计人 李小宝;刘玉洲;张爱兵;迮建军;古宏伟;蔡渊;

    申请日2021-12-31

  • 分类号H01B12/06(20060101);H01B12/00(20060101);

  • 代理机构32103 苏州创元专利商标事务所有限公司;

  • 代理人范晴;徐律

  • 地址 215124 江苏省苏州市苏州工业园区星湖街218号生物纳米园C18楼

  • 入库时间 2023-06-19 14:39:06

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-25

    公开

    发明专利申请公布

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