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一种高激光损伤阈值金刚石镜片及其制备方法

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本申请涉及激光光学领域，公开了一种高激光损伤阈值金刚石镜片及其制备方法，高激光损伤阈值金刚石镜片的制备方法包括以下步骤：在单晶金刚石衬底上沉积一层单晶金刚石薄膜；利用有限元方法设计微柱状结构阵列；在所述单晶金刚石薄膜上镀制一层金属膜；将所述微柱状结构阵列的顶面轮廓图案光刻到所述金属膜上，显影；对所述金属膜表面进行垂直刻蚀；对所述单晶金刚石衬底进行倾斜旋转刻蚀；去除所述微柱状结构上的金属膜。采用本申请制备方法制备得到的高激光损伤阈值金刚石镜片为全金刚石镜片，具有较高的激光损伤阈值，且制备方法简单。

著录项

公开/公告号CN114236658A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-25

原文格式PDF
申请/专利权人季华实验室;
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申请/专利号CN202210170247.2
发明设计人郭可升;胡强;卫红;胡琅;肖永能;侯少毅;杨振怀;刘乔;
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申请日2022-02-24
分类号G02B5/08(20060101);G03F1/80(20120101);G03F1/78(20120101);G03F7/30(20060101);C23C14/18(20060101);C23C14/35(20060101);C23C14/58(20060101);C23C16/27(20060101);C23C28/00(20060101);
代理机构44377 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人陈志超
地址 528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号
入库时间 2023-06-19 14:39:06

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2022-03-25

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