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浸润液控制装置、曝光机设备及检测浸润液污染的方法

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摘要

本申请公开了一种浸润液控制装置、曝光机设备及检测浸润液污染的方法，该浸润液控制装置，包括：真空抽气管道，其与浸润液供给装置的真空抽气口连通；检测部件，其安装于所述真空抽气管道的内壁，所述检测部件用于检测所述真空抽气管道内的气体流速。通过检测部件对真空抽气管道内的气体流速进行检测，可判断出浸润液流场上是否堆积有污染物，若堆积有污染物则需要及时进行清除，可避免堆积的污染物掉落在浸润液下面的晶圆上，进而可提高制程中的产品良率。

著录项

  • 公开/公告号CN114296324A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-04-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 长鑫存储技术有限公司;

    申请/专利号CN202210016450.4

  • 发明设计人 张燕妮;

    申请日2022-01-07

  • 分类号G03F7/20(20060101);

  • 代理机构11489 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人郑久兴

  • 地址 230000 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

  • 入库时间 2023-06-19 14:48:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-04-08

    公开

    发明专利申请公布

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