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集成光学测温传感芯片、光学测温传感设备及测温方法

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摘要

本发明公开了集成光学测温传感芯片、光学测温传感设备及测温方法，其中，集成光学测温传感芯片包括晶片基底，设置在晶片基底上的集成光路，所述集成光路包括一个闭环的集成光学谐振腔和一个开环的总线光波导，总线光波导与集成光学谐振腔之间形成耦合区。本发明基于两正交偏振模的谐振频率之差随着腔体温度的变化而改变的原理，通过PDH(Pound‑Drever‑Hall)锁频技术，将可调谐激光的频率锁定在集成光学谐振腔的一个偏振谐振频率上，将边带调制频率锁定在两个正交偏振模谐振频率之差上，实现了边带调制频率对两正交偏振模谐振频率之差的实时跟踪；通过监测边带调制频率的变化，实现了对集成光学谐振腔温度变化的精确测量。

著录项

  • 公开/公告号CN114295248A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-04-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南方科技大学;

    申请/专利号CN202111350163.9

  • 发明设计人 赵前程;

    申请日2021-11-15

  • 分类号G01K11/00(20060101);H01S5/0239(20210101);H01S5/0683(20060101);

  • 代理机构44268 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人徐凯凯

  • 地址 518055 广东省深圳市南山区学苑大道1088号

  • 入库时间 2023-06-19 14:48:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-04-08

    公开

    发明专利申请公布

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