公开/公告号CN114326857A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-12
原文格式PDF
申请/专利号CN202111644642.1
申请日2021-12-30
分类号G05D23/20(20060101);
代理机构11543 北京八月瓜知识产权代理有限公司;
代理人秦莹
地址 200120 上海市浦东新区世博大道1919号
入库时间 2023-06-19 14:53:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-12
公开
发明专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法