公开/公告号CN114325513A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院物理研究所;
申请/专利号CN202011062384.1
申请日2020-09-30
分类号G01R33/12(20060101);G01N23/02(20060101);G01N23/20033(20180101);G01N23/20008(20180101);
代理机构11521 北京市英智伟诚知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘丹妮;姚望舒
地址 100190 北京市海淀区中关村南三街8号
入库时间 2023-06-19 14:53:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-12
公开
发明专利申请公布