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一种分子泵测温装置、测温方法及运转部件的测温装置

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本申请提供了一种分子泵测温装置、测温方法及运转部件的测温装置，至少用于测量分子泵的轴系涡轮转子的温度，分子泵包括：泵体；主轴；涡轮转子，与主轴连接并形成轴系涡轮转子；静涡轮级，与涡轮转子交替配合布置；驱动装置，能够驱动主轴转动，使得涡轮转子能够相对静涡轮级转动，测温装置包括：至少一个的非接触式传感器，设置在泵体内，用于确定涡轮转子和/或主轴的热辐射参数，热辐射参数至少包括热辐射强度参数和/或频谱参数；处理单元，与非接触式传感器电连接，用于根据涡轮转子和/或主轴的热辐射参数，确定轴系涡轮转子的温度。该测温装置简捷的实现了对高速运转的涡轮转子进行实时温度监测的目的，提高设备的运行安全性。

著录项

公开/公告号CN114320989A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-12

原文格式PDF
申请/专利权人北京中科科仪股份有限公司;
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申请/专利号CN202111680750.4
发明设计人李兵;顾艳庆;刘炯;刘宏伟;李赏;
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申请日2021-12-31
分类号F04D27/00(20060101);
代理机构11505 北京布瑞知识产权代理有限公司;
代理人孙健康
地址 100089 北京市海淀区中关村北二条13号
入库时间 2023-06-19 14:53:05

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法律状态
2022-04-12

公开

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