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通过单一波片在双干涉通道间产生π相移的装置及方法

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本发明公开了一种通过单一波片在双干涉通道间产生π相移的装置及方法，该装置包括激光器、第一全反射镜、偏振衰减器、相移器、第一偏振分光棱镜、第二全反射镜、载物台、第一物镜、第一镜筒、分光棱镜、第二物镜、第二镜筒、第三全反射镜、波片、第二偏振分光棱镜、第一相机和第二相机。相移器是根据双折射晶体的特性和偏振分束镜的特性，按照双干涉通道中，需要固定相移量的需求，利用正交偏振光通过特定波片与偏振分束镜后可以在两个相机上分别干涉，所得两幅干涉图片的相位差为定值π。所提出的装置及方法简单，稳定可靠，灵活性高。简化了系统的光路结构，降低了组装调试系统的难度，提高了干涉系统的采图效率。

著录项

公开/公告号CN114459620A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-10

原文格式PDF
申请/专利权人华南师范大学;
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申请/专利号CN202210110102.3
发明设计人吕晓旭;王振乾;卜正阳;刘胜德;
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申请日2022-01-29
分类号G01J9/02;G01N21/45;
代理机构
代理人
地址 510000 广东省广州市中山大道西55号
入库时间 2023-06-19 15:15:00

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法律状态公告日

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法律状态
2022-05-10

公开

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1. 基于特定相移量的单黑白CCD相移双波长干涉测量方法 [P] . 中国专利： CN104236452B . 2017.08.25
2. 基于特定相移量的单黑白CCD相移双波长干涉测量方法 [P] . 中国专利： CN104236452A . 2014-12-24