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反射镜装调系统及装调方法

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本发明提出了一种反射镜装调系统及装调方法，装调系统包括：平板玻璃组件、平面反射镜组件及测量设备，沿光的传播方向，平板玻璃组件位于待装调反射镜的上游，平面反射镜组件位于待装调反射镜的下游；测量设备用于发射检测光，检测光经平板玻璃组件传递至待装调反射镜，检测光经待装调反射镜的反射光传递至平面反射镜组件，反射光经平面发射镜组件、待装调反射镜反射后，经平板玻璃组件返回至测量设备；根据测量设备接收的反射光得到测量值，通过比较测量值与设计值，对待装调反射镜的角度和距离进行调整，至测量值达到设计值。本发明摒弃了接触式的顶针测量法使用了无接触式测量，减少了镜片损伤的风险，且具有高精度装调特性。

著录项

公开/公告号CN114459608A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-10

原文格式PDF
申请/专利权人中国电子科技集团公司第十一研究所;
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申请/专利号CN202210039592.2
发明设计人尤宏波;阚博涵;曹景华;彭燕鸿;张大为;郝利民;
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申请日2022-01-14
分类号G01J5/08;G01J5/0813;G02B7/198;
代理机构
代理人
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号
入库时间 2023-06-19 15:15:00

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法律状态
2022-05-10

公开

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