公开/公告号CN114457790A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-10
原文格式PDF
申请/专利号CN202210262217.4
申请日2022-03-16
分类号E02D5/34;E02D7/00;E02D15/02;
代理机构
代理人
地址 518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室
入库时间 2023-06-19 15:15:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-10
公开
发明专利申请公布
机译: 成膜设备及成膜方法
机译: 氮化硼膜的生长设备和方法