公开/公告号CN114487796A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-13
原文格式PDF
申请/专利权人 杭州广立微电子股份有限公司;
申请/专利号CN202111501691.X
申请日2021-12-09
分类号G01R31/319;H01L23/544;
代理机构
代理人
地址 浙江省杭州市西湖区西斗门路3号天堂软件园A幢15楼F1座
入库时间 2023-06-19 15:18:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-31
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/319 专利申请号:202111501691X 申请日:20211209
实质审查的生效