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一种微小间隙非接触测量调控装置及方法

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本发明提供一种微小间隙非接触测量调控装置及方法，用于实现超精密制造过程中微小间隙的非接触测量以及加工工具和待加工元件之间的距离调控。装置包括：加工工具、标定物、机床本体、非接触式位移传感器、传感器工装、待加工元件、导轨、传感器电源、传感器控制器、导轨电源、导轨控制器、计算机控制系统。计算机控制系统通过控制器和电源与导轨和位移传感器相连，通过调控导轨和位移传感器的运动实现对加工工具和待加工元件之间的微小距离的测量与调控。本发明为超精密制造过程中，准确测量并且调控加工工具与待加工元件的间隙提供了一种有效的低成本的测量与调控手段。

著录项

公开/公告号CN114563981A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-31

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院光电技术研究所;
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申请/专利号CN202210236630.3
发明设计人马伟皓;侯溪;李佳慧;张云;陈强;
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申请日2022-03-10
分类号G05B19/401;B23Q17/22;B23Q17/24;G01B11/14;G01B17/00;
代理机构北京科迪生专利代理有限责任公司;
代理人金怡
地址 610209 四川省成都市双流350信箱
入库时间 2023-06-19 15:30:44

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法律状态
2022-05-31

公开

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