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快速湿度传感器和用于校准快速湿度传感器的方法

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摘要

根据本发明的示例方面，提供了一种形成在包括传感器框架(21)的衬底(12)上的传感器结构(19)，传感器框架(21)包括用于传感器的电触点(1‑6)，传感器框架(21)内的有源传感器(22)至少包括电容式湿度传感器(9)。根据本发明，有源传感器(22)仅通过支撑有源传感器(22)的薄隔热层(14)连接到传感器框架(23)，该隔热层(14)包括来自传感器框架(21)的电触点。

著录项

  • 公开/公告号CN114624296A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-06-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 芬兰维萨拉有限责任公司;

    申请/专利号CN202111490054.7

  • 发明设计人 J·勒帕宁;M·杰洛宁;

    申请日2021-12-08

  • 分类号G01N27/22;G01K13/00;G01K7/16;

  • 代理机构上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人亓云;顾嘉运

  • 地址 芬兰赫尔辛基

  • 入库时间 2023-06-19 15:39:57

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-06-14

    公开

    发明专利申请公布

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