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一种仿人耳蜗外耳毛细胞阵列的高性能压电声学传感器的制备方法

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本发明公开了一种仿人耳蜗外耳毛细胞阵列的高性能压电声学传感器的制备方法。该方法可获得表面具有微锥阵列的压电声学传感器。其中微锥阵列可自行设计，并通过打印和磁场诱导的方式实现。本发明方法简单，快速，节约成本，可大规模制备具有微锥阵列的压电薄膜传感器。相比于普通的薄膜声学传感器，本发明具有微锥阵列的声学传感器拥有更高的灵敏度。

著录项

公开/公告号CN114636467A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-17

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院化学研究所;
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申请/专利号CN202210270270.9
发明设计人李立宏;向钟元;宋延林;
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申请日2022-03-18
分类号G01H11/08;
代理机构
代理人
地址 100190 北京市海淀区中关村北一街2号
入库时间 2023-06-19 15:43:06

法律信息

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法律状态
2022-06-17

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