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化学机械研磨用组合物、化学机械研磨方法及化学机械研磨用粒子的制造方法

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摘要

本发明提供一种化学机械研磨用组合物及化学机械研磨方法，可高速研磨作为配线材料的钨膜且可减少被研磨面上的表面缺陷的产生。本发明的化学机械研磨用组合物含有：(A)表面的至少一部分被氧化硅‑氧化铝的被膜被覆的氧化铝粒子；以及(B)液状介质。

著录项

  • 公开/公告号CN114730710A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-07-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 JSR株式会社;

    申请/专利号CN202080079736.6

  • 发明设计人 王鹏宇;中西康二;山中达也;

    申请日2020-11-18

  • 分类号H01L21/304;

  • 代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;

  • 代理人钞朝燕;黄健

  • 地址 日本东京港区东新桥一丁目9番2号

  • 入库时间 2023-06-19 15:55:34

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-07-08

    公开

    国际专利申请公布

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