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激光共焦测量系统及激光共焦测量系统的光控制模块

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摘要

本发明公开了一种激光共焦测量系统及其光控制模块，用于在微机电反射镜模块的进/出光路径上进行控制。光控制模块接收第一偏振态的激光光束，以及接收来自待测物且为第二偏振态的测量光，第一偏振态正交于第二偏振态。光控制模块使出射且射向微机电反射镜模块的激光光束为圆形偏振光或椭圆偏振光，以及使反射自微机电反射镜模块的激光光束转换为线性偏振光。通过微机电反射镜模块的反射机制搭配不同偏振光型态间的转换，让入射至微机电反射镜模块的光线可呈0度入射且所形成的扫瞄光具有低失真与低光衰的特性。

著录项

  • 公开/公告号CN114763988A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-07-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 致茂电子(苏州)有限公司;

    申请/专利号CN202110046223.1

  • 发明设计人 蔡政廷;邱国智;

    申请日2021-01-14

  • 分类号G01B11/24;

  • 代理机构广州三环专利商标代理有限公司;

  • 代理人戴建波

  • 地址 215129 江苏省苏州市高新区珠江路855号(第七号厂房)

  • 入库时间 2023-06-19 16:03:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-07-19

    公开

    发明专利申请公布

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