• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> 测量晶振圆片曲率半径的装置和使用该装置测量晶振圆片曲率半径的方法

测量晶振圆片曲率半径的装置和使用该装置测量晶振圆片曲率半径的方法

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献

摘要

本发明提供一种测量晶振圆片曲率半径的装置和使用该装置本发明测量晶振圆片曲率半径的方法。本发明测量晶振圆片曲率半径的装置包括：接触套筒，底部设置抵接垫，为顶部密封底部开口的圆柱形套筒；测量头，设置在接触套筒的顶部中心且能够上下伸缩移动；和精密测量仪，测量抵接垫确定的平面和测量头确定的平面的高度差h且与测量头紧固连接。使用该装置测量晶振圆片曲率半径的方法包括：将接触套筒与标准平晶表面抵接，测量头与标准平晶表面接触，将精密测量仪校准至零；将接触套筒与本发明的晶振圆片表面抵接，使测量头抵接晶振圆片垂直中心的表面，获取此时精密测量仪测量的高度差h；和根据下述公式，计算出晶振圆片曲率半径R1

著录项

  • 公开/公告号CN114061414A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 唐山万士和电子有限公司;

    申请/专利号CN202111610227.4

  • 发明设计人 袁庆祝;张贻海;李剑;王丽娟;张秀明;段洪伟;

    申请日2021-12-27

  • 分类号G01B5/213(2006.01);G01B9/04(2006.01);G01B9/08(2006.01);G01B11/255(2006.01);

  • 代理机构北京国贝知识产权代理有限公司 11698;

  • 代理人尹晓强

  • 地址 064106 河北省唐山市玉田县林南仓镇东路南

  • 入库时间 2023-06-19 16:28:30

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号