标记装置中的示教方法及示教用夹具

技术领域

本发明涉及标记装置中的示教方法以及示教用夹具。

背景技术

对于印刷配线板等平板状的工件，对于在检查工序中被判定为不良品的工件，有时在不良情况的产生部位进行标记，进行不良情况的产生原因的解析等。人工标记这种标记是非常低效的。因此，提出了如下技术：在标记装置中，针对在检查工序中被判定为不良品的工件，利用记号笔等标记笔在不良情况的产生部位自动地进行标记(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-15170号公报

发明内容

在专利文献1记载的技术中，在检查工序中，将工件的缺陷位置确定为第一坐标上的位置后，在标记装置中对第一坐标上的缺陷位置实施标记，因此，为了适当地进行该动作，需要在标记装置中设定与第一坐标对应的第二坐标的示教作业。但是，在专利文献1中完全没有提出示教工序。

鉴于以上问题，本发明的课题在于提供一种用于在平板状工件的缺陷位置上适当地进行标记的标记装置中的示教方法以及示教用夹具。

为了解决上述课题，本发明提供一种标记装置的示教方法，该标记装置具有：检查部，其将从利用相机对载置在检查用工件载置面上的平板状的工件进行拍摄时的图像中发现的缺陷位置确定为所述图像上的第一坐标上的位置；以及标记单元，其具备使标记头相对于从所述检查部搬运到标记用工件载置面上的工件相对移动的驱动机构，并对由所述检查部判定为不良品的工件的缺陷部位实施标记，该示教方法的特征在于，在将载置于所述工件载置面的工件上的第二坐标作为与所述第一坐标对应的坐标示教于所述驱动机构的第二坐标示教工序中，在所述标记头上设置由凸部和凹部中的一方构成的第一定位部，另一方面，将使由凸部和凹部中的另一方构成的多个第二定位部沿相互交叉的两个方向排列的示教用夹具载置于所述标记用工件载置面，在此状态下，使所述示教用夹具与所述标记头相对移动，以所述第二定位部与所述第一定位部嵌合的位置为基准来示教所述第二坐标。

在本发明中，由于以设置在标记头上的第一定位部与设置在示教用夹具上的第二定位部嵌合的位置为基准示教第二坐标，因而能够适当地设定第二坐标。因此，能够在平板状的工件的缺陷位置适当地进行标记。

在本发明中，可以采用如下方式：所述第一定位部由凹部构成，在所述示教用夹具上设有孔，在进行所述第二坐标示教工序时，在所述孔中固定用于构成所述第二定位部的销。

在本发明中，可以采用如下方式：所述标记头包括保持所述标记笔的笔保持件，所述笔保持件包括：圆盘状的内侧部件，其将所述标记笔保持在从中心沿径向偏移的偏心位置；以及外侧部件，其经由径向轴承将所述内侧部件支撑为能够绕通过所述内侧部件的中心并沿上下方向延伸的旋转中心轴线旋转，所述标记单元具备使所述内侧部件绕所述旋转中心轴线旋转的旋转驱动机构，所述第一定位部设置在所述旋转中心轴线上。

在本发明中，可以采用如下方式：在进行所述第二坐标示教工序时，至少将所述标记笔从所述标记头拆下，另一方面，将设有由凹部构成的所述第一定位部的部件安装在所述标记头上。

在本发明中，可以采用如下方式：在对所述检查部示教所述第一坐标的第一坐标示教工序中，在将从所述孔拆下了所述销的状态下的所述示教用夹具载置在所述检查用工件载置面上的状态下，根据由所述相机拍摄所述示教用夹具时的所述孔的位置来示教所述第一坐标。

在本发明中，可以采用如下方式：所述孔是在深度方向的中途位置切换内径以在深度方向的中途位置形成环状面的阶梯孔，根据用所述相机拍摄所述示教用夹具时的所述孔的环状面的位置示教所述第一坐标。

在本发明中，可以采用如下方式：所述相机是线扫描相机，在所述示教用夹具中，在与所述线扫描相机的1条线的量的拍摄范围重叠的区域中，在所述拍摄范围延伸的主扫描方向以及与所述主扫描方向交叉的副扫描方向这两个方向上包含多个孔。

在本发明中，可以采用如下方式：所述示教用夹具的所述环状面的高度位置与将工件载置于所述检查用工件载置面时的工件的上表面的高度位置相同。

本发明的另一方式是一种示教用夹具，用于标记装置，该标记装置具有：检查部，其将从利用相机对载置在检查用工件载置面上的平板状的工件进行拍摄时的图像中发现的缺陷位置确定为所述图像上的第一坐标上的位置；以及标记单元，其具备使标记头相对于从所述检查部搬运到标记用工件载置面上的工件相对移动的驱动机构，并对由所述检查部判定为不良品的工件的缺陷部位实施标记，示教用夹具用于将载置于所述工件载置面的工件上的第二坐标作为与所述第一坐标对应的坐标示教于所述驱动机构，该示教用夹具的特征在于，在相互交叉的两个方向上排列有供第一定位部嵌合的多个第二定位部，所述第一定位部由设于所述标记头的凸部和凹部中的一方构成，所述第二定位部由凸部和凹部中的另一方构成。

在本发明中，由于以设置在标记头上的第一定位部与设置在示教用夹具上的第二定位部嵌合的位置为基准示教第二坐标，因而能够适当地设定第二坐标。因此，能够在平板状的工件的缺陷位置适当地进行标记。

(发明效果)

在本发明中，由于以设置在标记头上的第一定位部与设置在示教用夹具上的第二定位部嵌合的位置为基准示教第二坐标，因而能够适当地设定第二坐标。因此，能够在平板状的工件的缺陷位置适当地进行标记。

附图说明

图1是通过应用了本发明的标记装置而附加的标记的说明图。

图2是本发明实施方式的标记装置的侧视图。

图3是示出图2所示的标记单元的上下驱动机构等的侧视图。

图4是示出图2所示的标记单元的旋转驱动机构等的主视图。

图5是放大示出图2所示的标记头的说明图。

图6是图2所示的标记装置中使用的工件保持件的俯视图。

图7是图2所示的标记装置的示教工序中使用的示教用夹具的俯视图。

图8是图7所示的示教用夹具的孔的剖视图。

图9是示出在第二坐标示教工序中使用图7所示的示教用夹具时的样子的说明图。

图10是使用了图7所示的示教用夹具的第二坐标示教工序的说明图。

具体实施方式

参照附图，对本发明的实施方式进行说明。另外，在以下的说明中，将相互正交的三个方向作为X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向进行说明。X轴方向是前后方向，Y轴方向是宽度方向，Z轴方向是上下方向。

(整体结构)

图1是通过应用了本发明的标记装置1附加的标记M的说明图。图2是本发明实施方式的标记装置1的侧视图。

在图1中，在显示面板或印刷配线板等平板状的工件W中，对于在检查工序中被判定为不良品的工件，有时在不良品的产生部位进行标记，进行不良品的产生原因的解析等。标记M以包围不良情况的产生部位的方式形成。在本实施方式中，标记M为圆弧状或圆形。在本实施方式中，标记M是周向的一部分M0缺失的圆弧状。在本实施方式中，工件W是显示面板。

如图2所示，标记装置1在机台3的上方位置具有：检查部100，其确定从用相机150拍摄载置于检查用工件载置面110上的工件W时的图像中发现的缺陷位置；以及标记单元10，其对由检查部100判定为不良品的工件W的缺陷部位实施标记。

相机150是使主扫描方向朝向与工件W的搬运方向即X轴方向正交的Y轴方向的线扫描相机151，工件W通过箭头X1所示的面板搬运机构13而被沿副扫描方向即X轴方向搬运。因此，相机150在进行工件W的点亮检查时，能够拍摄工件W的显示区域的整个面。面板搬运机构13由进给丝杠机构等线性致动器构成。

检查用工件载置面110由从下方支撑工件W的多个辊构成。标记用工件载置面2也与检查用工件载置面110同样，由从下方支撑工件W的多个辊构成。因此，工件W被面板搬运机构13从检查用工件载置面110搬运到标记用工件载置面2。但是，在通过标记头50对工件W实施标记时，面板搬运机构13处于停止状态。

标记单元10具有使标记头50相对于从检查部100搬运到标记用工件载置面2的工件W相对移动的驱动机构。驱动机构例如如图2中箭头X0、Y0所示，由沿X轴方向驱动标记单元10的X轴驱动机构11和沿Y轴方向驱动标记单元10的Y轴驱动机构12构成。

在本实施方式中，虽然标记用工件载置面2与检查用工件载置面110连续，但有时工件W例如在载置于与标记用工件载置面2分体的检查用工件载置面110的状态下被检查，仅产生不良情况的工件W被机器人等搬运到标记用工件载置面2。

另外，工件W除了被单独搬运的情况以外，也有在保持于工件保持件的状态下被搬运的情况。在本实施方式中，工件W在保持于参照图6后述的工件保持件200的状态下被搬运，但在图1中省略了工件保持件200的图示。

(标记单元10的结构)

图3是示出图2所示的标记单元10的上下驱动机构30等的侧视图。图4是示出图2所示的标记单元10的旋转驱动机构70等的主视图。图5是将图2所示的标记头50放大示出的说明图。

如图3及图4所示，标记单元10具有：支撑以下说明的各部件的基座20；固定在基座20的垂直板201上的上下驱动机构30；通过上下驱动机构30相对于基座20在上下方向上被驱动的可动块40；以及可在上下方向上移动地支撑在可动块40上的标记头50。基座20具有垂直板201以及在垂直板201的端部水平弯曲的水平板202、203等。上下驱动机构30是在下方连接有可动块40的流体压力缸装置31，固定在基座20的垂直板201上。标记头50具备由毛毡、合成纤维或合成树脂构成的笔尖5a朝下的标记笔5，标记笔5是能够适当补充油性墨水的类型的笔。

标记头50包括用于保持标记笔5的笔保持件51。笔保持件51包括：圆盘状的内侧部件52，其将标记笔5保持于从中心沿径向偏移的偏心位置；以及外侧部件54，其经由圆筒状的径向轴承53将内侧部件52支撑为能够绕通过内侧部件52的中心并沿上下方向延伸的旋转中心轴线L旋转。

如图5所示，内侧部件52具备：由在内侧保持笔保持件51的圆筒状的套环构成的第一部件521；第一部件521通过螺栓592固定在内侧的第二部件522；以及通过螺栓593固定在第一部件521的下端部的止动件523，止动件523与标记笔5的前端侧卡合。因此，虽然标记笔5能够从上方插入第一部件521的内侧，但通过止动件523防止标记笔5从第一部件521向下方脱落。另外，在第二部件522上通过螺栓591固定有支撑径向轴承53的支撑板590。

再次参照图3及图4，在标记头50中，垂直轴56从外侧部件54向上方延伸，可动块40固定有筒状部件41，该筒状部件41将笔保持件51的垂直轴56支撑为能够沿上下方向移动。因此，标记头50通过垂直轴56可沿上下方向移动地支撑在可动块40上。

在笔保持件51中，外侧部件54通过垂直轴56和筒状部件41不可旋转。

从上方与筒状部件41抵接的止动件57与垂直轴56的上端部抵接。因此，当流体压力缸装置31使可动块40下降时，包含笔保持件51的标记头50在垂直轴56被筒状部件41引导的同时因自重而下降。另外，当流体压力缸装置31使可动块40上升时，标记头50上升。在本实施方式中，在外侧部件54与可动块40之间，在标记笔5的周围设置有两组垂直轴56、筒状部件41以及止动件57。

在基座20和可动块40之间设置有减震器26。减震器26在可动块40下降时使下降端的下降速度衰减。在可动块40上以与流体压力缸装置31相邻的方式连接有垂直板42，在垂直板42与基座20之间设有减震器27。减震器27在可动块40上升时，使在上升端的上升速度衰减，并且作为规定可动块40的上升位置的止动件而发挥作用。

标记单元10具有装设在基座20的水平板202上的旋转驱动机构70。旋转驱动机构70使笔保持件51的内侧部件52绕旋转中心轴线L旋转。更具体地说，垂直轴55从内侧部件52向上方延伸，另一方面，旋转驱动机构70具备旋转致动器71、与旋转致动器71的输出轴72连接的水平板73、从水平板73的端部向下方延伸的垂直板74，在垂直板74的侧面安装有从两侧与垂直轴55抵接的两个辊75。因此，当旋转致动器71的输出轴72旋转而水平板73及垂直板74绕旋转中心轴线L旋转时，内侧部件52与垂直轴55一起旋转。另外，在垂直轴55上固定有与标记笔5的上端部抵接的按压部件58。

在这样构成的标记单元10中，笔保持件51的外侧部件54被固定，另一方面，内侧部件52与旋转驱动机构70连接。另外，标记笔5的中心轴线L0从旋转中心轴线L离开。另外，旋转驱动机构70使内侧部件52在小于360°的角度范围内旋转。因此，如图1所示，标记笔5的笔尖5a能够将周向的一部分M0缺失的圆弧状的标记M附加在工件W上。

(笔压调整机构90的结构)

在图3中，在标记单元10中，利用标记头50的自重G使标记笔5的笔尖5a与工件W抵接而实施标记。在本实施方式中，在可动块40与标记头50之间配置有螺旋弹簧94，该螺旋弹簧94对标记头50施加克服标记头50的自重G的向上的作用力S。因此，在对工件W实施标记时笔尖5a与工件W抵接的力即笔压是从标记头50的自重G减去螺旋弹簧94的作用力S而得到的值。

在标记单元10中设置有笔压调整机构90，该笔压调整机构90利用螺旋弹簧94调整由标记笔5对工件W进行标记时的笔压。

笔压调整机构90通过调整螺旋弹簧94的长度来调整作用力S，从而调整笔压。

在本实施方式中，螺旋弹簧94是在可动块40与标记头50之间以沿上下方向被压缩的状态配置的压缩螺旋弹簧95。笔压调整机构90具备压缩螺旋弹簧95、固定在标记头50上的第一弹簧支撑部件91和通过位置调整用的固定件93固定在可动块40上的第二弹簧支撑部件92，在第一弹簧支撑部件91和第二弹簧支撑部件92沿上下方向相对的部分之间配置有压缩螺旋弹簧95。因此，压缩螺旋弹簧95的上下方向的长度由通过固定件93固定于可动块40时的第二弹簧支撑部件92的上下方向的位置来调整。

更具体地说，第一弹簧支撑部件91具备：轴部911，其周围配置有压缩螺旋弹簧95；以及支撑部912，其在轴部911的上端侧突出并与压缩螺旋弹簧95的上端抵接。第二弹簧支撑部件92具备：第一板部921，其上下方向的中途位置通过固定件93固定在可动块40上；以及第二板部922，其从第一板部921的下端部折弯而与压缩螺旋弹簧95的下端抵接，压缩螺旋弹簧95以被压缩的状态配置在第一弹簧支撑部件91的支撑部912与第二弹簧支撑部件92的第二板部922之间。固定件93是螺栓。在第二板部922处设有沿上下方向延伸的长孔923，在可动块40的侧面形成有供固定件93固定的螺纹孔。因此，在长孔923的上下方向的范围内，能够调整利用固定件93将第二弹簧支撑部件92固定于可动块40时的上下位置。在该笔压调整机构90中，调整第二弹簧支撑部件92的上端部分距可动块40的上表面的高度h。

在本实施方式的笔压调整机构90中，设有两组压缩螺旋弹簧95、第一弹簧支撑部件91、第二弹簧支撑部件92及固定件93。

(监视装置60的结构)

在标记单元10中，用于监视由标记笔5在工件W上标记的标记M的监视装置60被保持在基座20上。监视装置60监视标记M的模糊程度等，检测向标记笔5补充墨水的定时。

在本实施方式中，在固定于基座20的水平板202上的支撑轴65的下端部保持有监视装置60，监视装置60位于标记头50的侧方。监视装置60是拍摄标记M的拍摄装置，以能够适当地监视工件W的表面的方式使角度倾斜5°左右。

(帽80的构造)

在图4中，标记装置1具有在标记头50在上方待机期间从下方覆盖笔尖5a的帽80。帽80经由图4所示的连接部件86、87、88、89固定在从图2所示的机台3向上方延伸的支柱4上，位于标记头50的下方。另外，在连接部件86和基座20的水平板203之间，设置有沿Y轴方向驱动标记单元10的Y轴驱动机构12。

帽80在收纳笔尖5a的凹部81的开口缘具有与标记笔5的外周面抵接的圆环状的密封部件82。密封部件82由橡胶等构成。密封部件82有时也配置成在笔尖5a的周围与笔保持件51抵接。在此，帽80位于标记头50的下方位置，但在标记装置1中设置有沿上下方向驱动标记头50的上下驱动机构30和沿Y轴方向驱动标记单元10的Y轴驱动机构12。因此，对于标记头50，在对工件W实施标记时，能够在避开帽80的位置沿上下方向移动，在待机位置，在与帽80沿上下方向重叠的位置使标记头50沿上下方向移动，由此进行向帽80的安装及帽80的脱离。

(动作)

在本实施方式的标记装置1中，上下驱动机构30按最上端、最下端及中间这三级切换标记头50的高度位置。图4示出标记头50位于最上端的情况，笔尖5a未安装在帽80上。

当上下驱动机构30使可动块40从上述状态下降时，标记头50下降。其结果，笔尖5a嵌入帽80的凹部81的内侧，成为密封部件82与标记笔5的外周面抵接的待机状态。因此，在待机状态下，不易发生来自笔尖5a的墨水的蒸发或墨水的凝固。

在该状态下，当上下驱动机构30使可动块40上升时，标记头50上升到最上端，成为图4所示的状态。接着，当Y轴驱动机构12沿Y轴方向驱动标记头50时，标记头50移动到在上下方向上不与帽80重叠的位置。接着，当上下驱动机构30使可动块40下降时，标记头50下降到最下端，笔尖5a与工件W抵接。此时，笔尖5a以由笔压调整机构90设定的最佳的笔压与工件W抵接。因此，当旋转驱动机构70使笔保持件51的内侧部件52绕旋转中心轴线L旋转时，在工件W上附加标记M。

这样标记结束后，在上下驱动机构30使标记头50上升到最上端后，Y轴驱动机构12使标记头50移动到帽80的正上方位置，然后，上下驱动机构30使标记头50下降到中间位置。其结果，标记头50再次成为待机状态。

(工件保持件200的结构)

图6是在图2所示的标记装置1中使用的工件保持件200的俯视图。在图2所示的标记装置1中，图6所示的工件保持件200是四边形的框状部件，具备在X轴方向上相对的板部210、220和在Y轴方向上相对的板部230、240。在板部220处设有与面板搬运机构13的连接部250。在板部230中位于板部240侧的端部及在板部240中位于板部230侧的端部均为从下方支撑工件W的支撑面231、241，在支撑面231、241上开设有保持工件W的真空吸附机构的多个吸附口233、243。

另外，在板部210处设有与工件W的端部抵接的定位辊214。另外，在板部230、240处设有从上方按压工件W的端部的夹紧机构232、242。

在板部230处设置有与工件W的端部抵接的定位辊234和调整定位辊234的Y轴方向的位置的倾斜调整部235。因此，能够调整工件保持件200上的工件W的倾斜。

(第一坐标示教工序)

图7是在图2所示的标记装置1的示教工序中使用的示教用夹具300的俯视图。图8是图7所示的示教用夹具300的孔315a的剖视图。

在图2所示的标记装置1的检查部100中，将从用相机150拍摄检查用工件载置面110上载置的工件W时的图像中发现的缺陷位置确定为图像上的第一坐标上的位置。因此，在检查部100中，在进行实际的检查工序之前，进行对检查部100示教第一坐标的第一坐标示教工序。具体而言，在将图8所示的示教用夹具300固定于工件保持件200的状态下，将工件W载置于检查用工件载置面110。这里，示教用夹具300是与工件W相同尺寸的金属板，示教用夹具300具备在X轴方向上相对的边301、302和在Y轴方向上相对的边303、304。在示教用夹具300的端部设置有用于示教用夹具300的对位等的凹部330。在本实施方式中，示教用夹具300是比工件W厚的铝板。

在示教用夹具300中，在边301和边303所形成的第一角部306形成有孔316a，在边302和边303所形成的第二角部307形成有孔317a，在边302和边304所形成的第三角部308形成有孔318a，在边301和边304所形成的第四角部309形成有孔319a。另外，在孔316a和孔319a的中间形成有孔315a。

在此，孔316a和孔317a在Y轴方向上的位置相同，孔318a和孔319a在Y轴方向上的位置相同。另外，孔317a和孔318a在X轴方向上的位置相同，孔315a、孔316a和孔319a在X轴方向上的位置相同。因此，在示教用夹具300中，在相互交叉的两个方向即X轴方向和Y轴方向上排列有多个孔。因此，如果利用相机150拍摄示教用夹具300的整个面，则能够以孔315a、316a、317a、318a、319a为基准点来设定图像上的第一坐标。在此，如果将孔315a、316a、317a、318a、319a中的至少三个孔316a、317a、318a作为基准点，则能够设定图像上的第一坐标。因此，在检查工序中，通过相机150拍摄工件W的整个面时，如果能够发现缺陷，则能够确定第一坐标上的缺陷位置。

在本实施方式中，如图8所示，孔315a、316a、317a、318a、319a都是以在深度方向的中途位置形成环状面310的方式在深度方向的中途位置切换内径的阶梯孔。更具体地说，孔315a、316a、317a、318a、319a都具备在示教用夹具300的下表面开口的第一孔311和以比第一孔311大的直径在示教用夹具300的上表面开口的第二孔312，第一孔311和第二孔312连通。因此，能够以从用相机150拍摄示教用夹具300时的环状面310的像导出的中心为基准点来设定第一坐标。因此，在用相机150拍摄时，能够可靠地检测孔315a、316a、317a、318a、319a。另外，环状面310的示教用夹具300的环状面310的高度位置与将工件W载置于检查用工件载置面110时的工件W的上表面的高度位置相同。因此，能够在与实际拍摄工件W的条件相同的条件下进行示教工序。

在本实施方式中，如图7所示，在孔315a、316a、319a的周围还形成有多个孔315b、316b、319b。因此，在进行第一坐标示教工序时，在示教用夹具300中，如图7中单点划线P所示，在线扫描相机151的1线量的拍摄范围与孔315a、316a、319a重叠以与孔315a、316a、319a重叠时，在拍摄范围延伸的主扫描方向以及与主扫描方向交叉的副扫描方向这两个方向上包含多个孔315a、315b、316a、316b、319a、319b。因此，在第一坐标示教工序的最初阶段，能够检测线扫描相机151的拍摄范围相对于示教用夹具300的倾斜。因此，在线扫描相机151的拍摄范围相对于示教用夹具300的倾斜较大的情况下，只要通过图6所示的倾斜调整部235调整定位辊234的位置，就能够在第一坐标示教工序的最初阶段纠正线扫描相机151的拍摄范围相对于示教用夹具300的倾斜。因此，能够对检查部适当地示教第一坐标。

(第二坐标示教工序)

图9是示出在第二坐标示教工序中使用图7所示的示教用夹具300时的情况的说明图。图10是使用图7所示的示教用夹具300的第二坐标示教工序的说明图。

在将载置于标记用工件载置面2的工件W上的第二坐标以与第一坐标对应的方式示教于X轴驱动机构11及Y轴驱动机构12的第二坐标示教工序中，在标记头50上设置由凸部及凹部中的一方构成的第一定位部510，在示教用夹具300上设置由凸部及凹部中的另一方构成的多个第二定位部380，以第二定位部380嵌入第一定位部510的位置为基准示教第二坐标。因此，在示教用夹具300上沿相互交叉的X轴方向及Y轴方向排列多个。

在本实施方式中，如图9及图10所示，在进行第二坐标示教工序时，第一定位部510由凹部构成，在示教用夹具300的孔315a、316a、317a、318a、319a中，经由圆筒状的部件386固定有用于构成由凸部构成的第二定位部380的销385。

另外，在标记头50中，在进行第二坐标示教工序时，至少将标记笔5从标记头50拆下，另一方面，将设有由凹部构成的第一定位部510的部件515安装在标记头50上。更具体地说，拆下图5所示的第一部件521和止动件523，另一方面，通过螺栓592将部件515固定在第二部件522上。在该状态下，第一定位部510位于旋转中心轴线L上。

在本实施方式中，在示教用夹具300的孔315a、316a、317a、318a、319a中，至少相对于孔316a、317a、319a固定销385而构成第二定位部380，通过手动使标记头50移动而以第二定位部380嵌入第一定位部510的位置为基准示教第二坐标。

这样，在本实施方式中，由于以设置在标记头50上的第一定位部510与设置在示教用夹具300上的第二定位部380嵌合的位置为基准示教第二坐标，因此能够适当地设定第二坐标。因此，能够对平板状的工件W的缺陷位置适当地进行标记。另外，由于在第一坐标示教工序和第二坐标示教工序中使用共同的示教用夹具300，因此第一坐标和第二坐标适当地对应。因此，如果标记装置1的控制部(未图示)将第一坐标转换为第二坐标来控制X轴驱动机构11及Y轴驱动机构12，则能够对由检查部100发现的缺陷位置适当地实施标记。

[其他实施方式]

在上述实施方式中，将第一定位部510设为凹部，将第二定位部380设为凸部，但也可以将第一定位部510设为凸部，将第二定位部380设为凹部。

在上述实施方式中，标记M是周向的一部分M0缺失的圆弧状，但也可以是附加圆形标记M的结构。另外，在上述实施方式中，是在附加标记M时使标记笔5旋转的结构，但在不使标记笔5旋转而使笔尖5a与工件W抵接的类型的标记装置中，在调整笔压的情况下也可以应用本发明。

附图标记

1…标记装置；2…标记用工件载置面；5…标记笔；5a…笔尖；10…标记单元；11…X轴驱动机构；12…Y轴驱动机构；13…面板搬运机构；20…基座；30…上下驱动机构；31…流体压力缸装置；40…可动块；41…筒状部件；50…标记头；51…笔保持件；52…内侧部件；53…径向轴承；54…外侧部件；60…监视装置；70…旋转驱动机构；71…旋转致动器；80…帽；90…笔压调整机构；94…螺旋弹簧；95…压缩螺旋弹簧；100…检查部；110…检查用工件载置面；150…相机；151…线扫描相机；200…工件保持件；300…示教用夹具；306…第一角部；307…第二角部；308…第三角部；309…第四角部；315a、315b、316a、316b、317a、318a、319a、319b…孔；310…环状面；380…第二定位部；385…销；510…第一定位部；515…部件；521…第一部件；522…第二部件；G…自重；L…旋转中心轴线；L0…中心轴线；M…标记；S…作用力；W…工件。