首页> 中国专利> 一种基于涡旋光干涉图样精密位移检测系统

一种基于涡旋光干涉图样精密位移检测系统

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本发明公开了一种基于涡旋光干涉图样精密位移检测系统，包括干涉图样生成模块、信号处理模块、单片机软件模块。光电二极管采集干涉信号送入信号处理模块处理；被测平面镜M2做直线微位移运动时，花瓣状干涉图样绕中心旋转。使用光电二极管采集干涉图样将其转换为光电流信号，传输至信号处理模块处理，最后将滤波后的信号以及辨向细分后的数据采集进单片机处理模块，计算出精密微位移量并在LCD上进行显示。本发明通过光电二极管采集光信号并进行信号处理的方式，实现对干涉图样旋转角度的测量，从而实现了对微小位移的精密、高速测量，解决了现有技术通过CCD相机进行图像采集存在的无法准确测量位移变化较大或速度较快时的测量精度问题。

著录项

公开/公告号CN115112023A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-09-27

原文格式PDF
申请/专利权人合肥工业大学;
展开▼

申请/专利号CN202210307429.X
发明设计人夏豪杰;李英杰;李哲;李维诗;赵会宁;潘成亮;
展开▼

申请日2022-03-25
分类号G01B11/02;G01B9/02;G01B9/02015;
代理机构北京科名专利代理有限公司;
代理人陈朝阳
地址 230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
入库时间 2023-06-19 16:58:07

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-09-27

公开

发明专利申请公布

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 一种基于双波长涡旋光自共轭干涉的大量程皮米级位移测量系统及方法 [P] . 中国专利： CN115077390A . 2022-09-20
2. 基于涡旋光螺旋波前-空间相移干涉纳米量级微位移测量系统及方法 [P] . 中国专利： CN114459357A . 2022-05-10
3. Optical displacement sensor for recording amount of displacement of precision mechanism has light intensity data entry device with several light reception regions in division direction of diffraction interference pattern [P] . 德国专利： DE10000955A1 . 2000-08-10

机译：用于记录精密机构的位移量的光学位移传感器，具有在衍射干涉图案的分割方向上具有多个受光区域的光强度数据输入装置。
4. Method for determining flatness and parallelism of two measurement surfaces of micrometer screw, involves irradiating light to other measurement surface of reflected light, and detecting interference pattern of emitted light [P] . 德国专利： DE102012018534A1 . 2014-03-20

机译：确定测微螺钉两个测量面的平面度和平行度的方法，包括将光照射到反射光的另一个测量面上，并检测发射光的干涉图样
5. Grid interference pattern displacement detection device [P] . 日本专利： JP3152330B2 . 2001-04-03

机译：网格干涉图样位移检测装置