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实验要点推荐装置、实验要点推荐方法及半导体装置制造系统

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针对将半导体处理装置的控制参数作为输入并输出表现由半导体处理装置加工过的半导体样品的加工形状的形状参数的机器学习模型，推荐获得学习数据的实验要点。根据机器学习模型的学习所使用的学习数据的控制参数的值即特征量数据，评价每个控制参数对机器学习模型的预测的贡献度，基于将根据贡献度选定的控制参数作为轴展开的空间中的机器学习模型所进行的预测的稳定性评价、不确定性评价，来推荐实验要点。

著录项

公开/公告号CN115280468A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-11-01

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社日立高新技术;
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申请/专利号CN202180004737.9
发明设计人王禹尧;森靖英;惠木正史;大森健史;酒井哲;松田航平;
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申请日2021-03-01
分类号H01L21/02;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人吴秋明
地址日本东京都
入库时间 2023-06-19 17:24:03

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-11-01

公开

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