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热效应元件、导热装置、半导体制造装置及热效应元件的控制方法

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摘要

一种热效应元件,具有:容器,其包括第一壁部和与上述第一壁部相对的第二壁部；离子液体,其容纳于上述容器内；第一电极,其设于上述第一壁部的外表面；以及可动电极,其在上述离子液体中以可移动的方式设置。

著录项

公开/公告号CN115485866A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-12-16

原文格式PDF
申请/专利权人东京毅力科创株式会社;
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申请/专利号CN202180032593.8
发明设计人秋山浩二;永井洋之;岩下光秋;上田博一;
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申请日2021-08-12
分类号H01L37/00;F25B21/02;
代理机构北京品源专利代理有限公司;
代理人吕琳;朴秀玉
地址日本东京
入库时间 2023-06-19 17:58:25

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2022-12-16

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