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CIGS太阳能电池表面改性方法、装置及CIGS太阳能电池

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本申请提供的CIGS太阳能电池表面改性方法及装置，开启所述微波功率源，使得所述微波等离子体产生室的惰性气体电离并产生微波等离子体，所述偏转线圈产生的磁场将所述微波等离子体从所述微波等离子体产生室引出至所述真空室，并对所述真空室内的所述CIGS薄膜进行表面改性处理，不仅可以去除表面的Cu‑Se相，还可以减弱CIGS薄膜中Ga的不均匀状况，避免薄膜出现对太阳能的屏蔽作用，从而达到材料表面改性的目的，以获得了更高光电转换效率。另外，本申请还提供了一种CIGS太阳能电池。

著录项

公开/公告号CN115498068A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-12-20

原文格式PDF
申请/专利权人深圳先进技术研究院;
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申请/专利号CN202211156909.7
发明设计人唐玮;李伟民;苑欣业;俞深;王赛强;李松;赵晨晨;祁同庆;马明;宁德;杨春雷;
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申请日2022-09-22
分类号H01L31/18;H01L21/02;H01L21/461;H01L31/032;H01L31/0749;H01L31/0445;C23C14/06;C23C14/58;
代理机构深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘建伟
地址 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
入库时间 2023-06-19 18:01:47

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法律状态
2022-12-20

公开

发明专利申请公布